xParts

ALDコーティングサービス

xParts_ALD Coating Service landscape

xPartsコーティングは、半導体製造工程のような過酷な用途で使用される、お客様固有の三次元部品に適用される、非常に均一で粒子のないALD(原子層堆積法)薄膜です。 

xPartsのコーティングは、重要な部品の寿命を延ばし、製造装置の稼働時間を保証します。

顧客ニーズ

xPartsの特徴

アドバンテージ​

ツールアップタイム

高い耐腐食性

部品の長寿命化

拡散バリア

コンディショニングの軽減

良好な歩留まり

低金属コンタミ

不良品・コンタミの低減

おいしいウエハース

パーティクルフリー

PM後の不具合・回復の少なさ

所有コスト

改修プログラム

所有権のコスト低減

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