控制器

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966-IC6

结合了任何其他石英晶体控制器的最佳性能、质量和功能，提供了非凡的价值。

INFICON ModeLock技术确保了最稳定、最高分辨率的速率和厚度测量，即使在非常低的速率下也是如此。
在材料沉积过程中自动确定 Z 比率，从而提高厚度的准确性
最多可以同时对六个来源进行编码沉积
USB数据存储用于屏幕截图、配方存储和数据记录

960-cygnus

OLED 应用程序提供最佳测量精度

INFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况

972-XTC3M

先进的、经济实惠的单层或多层速率控制

提供有单层和多层型号
专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
支持 INFICON Crystal 12^®、Crystal Six^® 及双传感器自动晶体转换，从而最大化生产力
XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源

979-IQM-233

在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本沉积控制

PCI Express
三个传感器输入，三个控制输出
在 PC 中安装多个卡
多源共沉积

956-Guardian

Guardian™ EIES CONTROLLER

CIGS 薄膜的理想之选

Guardian™ EIES 控制器

监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
12 个继电器输出和 12 个数字输入

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