控制器
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控制器
IC6
Provides exceptional value by combining the best performance, quality, and features of any other quartz crystal controller
IC6
- INFICON ModeLock technology ensures the most stable, highest resolution rate and thickness measurement available, even at very low rates
- Auto Z improves thickness accuracy by automatically determining the Z-ratio as material is deposited
- Codeposition of up to six sources simultaneously
- USB data storage for screen shots, recipe storage, and data logging
控制器
Cygnus® 2
OLED 应用程序提供最佳测量精度
Cygnus® 2
- NFICON ModeLock 技术确保获得最高、最稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
- Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
- 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制最多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
- 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
控制器
XTC/3
先进的、经济实惠的单层或多层速率控制
XTC/3
- 提供有单层和多层型号
- 专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差
- 支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及双传感器自动晶体转换，从而最大化生产力
- XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源
控制器
IQM-233
在 PCI EXPRESS 卡上实现低成本沉积控制
IQM-233
- PCI Express
- 三个传感器输入，三个控制输出
- 在 PC 中安装多个卡
- 多源共沉积
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Guardian™ EIES CONTROLLER
CIGS 薄膜的理想之选
Guardian™ EIES 控制器
- 监控和控制多达 8 种材料的同时沉积过程
- 从 0.1 至 10,000 Å/s 的沉积速率
- 集成式 EIES 和 QCM 薄膜过程控制
- 12 个继电器输出和 12 个数字输入