프로세스 제어
Subfab and Facilities
친환경 공장을 위한 스마트 서브팹 제어
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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서브팹 및 시설에 대한 결함 감지 및 제어
인피콘의 에지 기반 컴퓨팅 FabGuard 시설 모니터링 시스템 및 HMI는 시설 및 서브팹 구성 요소와 공정 정보를 통합하여 제공합니다. 공정 장비에서 수집된 데이터와 함께 작동하여 여러 서브팹/시설 구성 요소를 관리하고 제어할 수 있습니다.
장점
- 스마트 제어/에너지 절약
- 조건 기반 소비로 마이그레이션
- 규정 준수 및 보고
- FDC 장비 및 프로세스 충실도 향상
- 스마트하고 예측 가능한 유지보수 일정 예약
서브팹/시설과 프로세스 연결
엔지니어는 FabGuard를 통해 다양한 센서, 게이지, 설비 및 기타 장치에서 데이터를 수집하여 업계에서 가장 포괄적인 공정 도구 보기를 개발할 수 있습니다.
- 펌프: 구동 전류, 온도, 압력, 퍼지 유량, 진동, 알람
- 저감: 가스 소비량, 작동 값, 알람
- 배기: 차압, 온도, 부산물 침착
- 히터: 히터 전류/전압, 온도
- 냉각기: 유량, 온도
공정 정보를 서브팹 및 시설 데이터와 결합하여 잠재적인 공정 영향을 명확하게 파악하고 더 나은 제어 방법을 제공합니다. 인피콘은 FabGuard를 사용하여 이탈을 예측하고, 유지보수 활동을 관리하며, 비용 절감 기회를 파악합니다.
비용 절감 및 친환경
제조업체는 유휴 시간을 최소화하기 위해 노력하지만, 장비 유휴 기간은 낭비를 최소화하여 비용을 절감하고 친환경적으로 운영할 수 있는 기회를 제공합니다.
실시간 팩토리 스케줄링 및 장비 상태 정보를 활용하여 FabGuard는 서브팹 및 시설 구성 요소를 제어하여 전력 및 소모품 사용을 최소화합니다. 여기에는 친환경 작동 및 유휴 모드 활용이 포함됩니다.
