프로세스 제어
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Process Control
FabGuard® Integrated Process Monitor (IPM)
INFICON 센서 통합 및 분석 시스템은 공정 최적화를 위한 주요 공정 파라미터의 실행 간 제어와 공정 장비나 공정 엔지니어에게 감지된 고장 및 가능한 고장 원인에 관한 즉각적이고 자동적인 피드백 제공을 포함하여, 공정 검증 및 제어를 제공합니다.
FabGuard® Integrated Process Monitor
- 공정 제어 및 고장 검출에 대한 가동별 및 실시간 분석은 스크랩을 줄이고 공정 제어를 개선함
- 자동화된 데이터 수집 및 이력 파일 저장은 다수의 센서에서 결합한 SPC 데이터를 향상시키고 하드웨어 중복을 줄이며 전체 공구, 공정 또는 Fab에서 받은 모든 데이터를 통합시켜서 접근 및 분석이 편리합니다.
- 모든 공구 데이터에 대한 단일 사용자 인터페이스는 학습 곡선 단축
- 문제점의 분류를 통해 문제에 대한 대응이 더 빨라지고 가동 중지 시간을 최소화함
Process Control
FABGUARD® Explorer
Transpector 가스 분석 시스템용 공정 특성화 소프트웨어
FABGUARD® EXPLORER 가스 분석 소프트웨어
- 한 번의 클릭으로 액세스:
- 모니터 모드
- 누출 검사
- 진공 진단 - FabGuard Explorer는 여러 센서 지원: Transpector MPH RGA, Transpector 2 RGA, RFS100 RF 센서, Quantus 가스 분석기
- 진공 진단 도구는 진공 시스템에서 가스 종류를 빠르게 식별
- 실행 요약은 전체 센서 및 데이터 수집 정보를 각 실행에 첨부하여 데이터 이상점의 원인이 센서 파라미터의 변경인지를 판별하는 데 도움을 줌
Process Control
FABGUARD® Tool Recipe Management (RMS)
FabGuard™ 레시피 관리 시스템은 공정 장비 레시피의 관리 및 중앙 보관 기능을 제공하여 반도체, 디스플레이 및 태양광 제품 제조업체가 이러한 과제를 해결하는 데 도움을 줍니다
FabGuard® Tool Recipe Management (RMS)
- Custom tool messaging as required by specific tool types
- Central repository for process recipes
- The same golden recipe can be shared across tools/chambers
- Automated or manual recipe verification
Process Control
FABGUARD Analysis Server (AS)
FabGuard AS(Analysis Server)를 사용하면 공장 내 모든 변수를 분석하여 고급 다변량 SPC 및 모델링을 적용할 수 있습니다. 여러 공정 변수의 상호 작용으로 인한 결함은 FabGuard AS의 다양한 고급 다변량 분석 도구를 사용하여 탐지됩니다
FabGuard Analysis Server (AS)