FabGuard®
ASG-100
페일세이프 스위치
서브팹 및 공정 데이터 통합을 통해 안전하게 이점을 실현하십시오.
산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?
반도체 제조의 까다로운 환경에서 SEMI S2 지침은 장비가 중요한 환경, 보건 및 안전 요건을 충족하도록 보장하는 기준을 제시합니다. 이 지침 준수는 사람, 장비 및 시설의 안전을 유지할 뿐만 아니라 팹이 안정적으로 운영될 수 있도록 합니다.
FabGuard® ASG-100 페일세이프 스위치 스위치는 인피콘 FabGuard 소프트웨어와 원활하게 통합되어, 팹이 SEMI S2 인증 솔루션을 통해 서브팹 시스템 및 장비를 원격으로 안전하게 제어할 수 있도록 합니다. 이 안전 모드 전환 원격 스위치는 FabGuard 제어 소프트웨어가 대상 장비와의 통신을 상실하더라도, 규제되지 않은 유해 가스 및 화학 물질(예: CO, CO2, NOx)이 환경으로 유출되지 않도록 시스템을 가동 상태로 유지하도록 설계되었습니다.
ASG-100을 통해 팹은 공정 제어를 개선하고 잠재적 영향에 대한 명확한 통찰력을 얻을 수 있습니다. 이 정보를 바탕으로 사용자는 공정 장비 상태에 따라 서브팹 시스템을 언제 꺼야 하는지 파악하여 온실 가스의 고비용 소비를 줄일 수 있습니다. ASG-100을 FabGuard 시설 모니터와 연동하여 정화 시스템을 안전하게 제어하는 사용자는 수요에 따라 정화 시스템을 전환함으로써 연료 비용을 약 50% 절감했습니다.
장점
- SEMI S2 규정 준수 유지
- 장비 가동 시간 최적화
- 유해 가스 및 화학 물질 방출 방지
- 수율 향상
- 모든 장비 유형 및 플랫폼에 걸쳐 균일한 서브팹 제어 솔루션 확보
- 연료 및 산화제 소비량 대폭 감소
산업 표준 준수
FabGuard® ASG-100 페일세이프 스위치 CE 및 다음 표준을 준수하도록 인증되었습니다:
- ISO 12100
- EN ISO 13849-1
- EN ISO 1349-2
- IEC 61010-1
- SEMI S2-0821
- SEMI S10-1117
SEMI S2 인증은 다음 제품과 함께 사용 시에만 유효합니다: FabGuard Controller.
기능
- 원격 제어 서브팹 시스템
- 플랫폼 독립적
- FabGuard 소프트웨어와의 원활한 통합
- 자동 안전 모드 전환
- 다양한 장착 옵션
- LED를 통한 알람 시각화
- 마지막 알람 발생 시간 기록
- 알람 발생 후 수동 재설정을 위한 리셋 버튼
