진공 게이지 및 컨트롤러

측정 범위(mbar)
1 E-5 … atm 1 E-9 … atm
게이지 유형
커패시턴스 마노메타 피라니 게이지 핫 이온 게이지 콜드 캐소드 게이지
기술
액티브 패시브
필터 ()