Pirani Gauges

PCG55x

INFICON 피라니 용량식 격막 진공계(PCG55x)는 INFICON 피라니 기술과 세라믹 용량식 격막 센서의 이점을 단일 제품에 결합하고 있습니다.

Pirani-PSG55X-PCG55X
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 피라니 용량식 격막 진공계(PCG55x)는 INFICON 피라니 기술과 세라믹 용량식 격막 센서의 이점을 단일 제품에 결합하고 있습니다.

10 mbar ~ 대기의 측정 범위에서 용량식 격막 기술은 신뢰할 수 있는 압력 측정을 위해 가스 유형 독립형의 매우 정확한 값을 제공합니다. PCG55x는 요구되는 분야에 적합한 제품 구성이 가능한 다양한 기능도 제공합니다.

장점

  • 10 mbar 초과하는 가스 유형 독립적 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 환기할 수 있음
  • 대기에서의 높은 정확성 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 신속한 대기압 탐지를 위해
  • 다양한 장착 방향 – 공구 설계에서 자유로운 엔지니어링 제공
  • 텅스텐(PCG550) 또는 니켈(PCG552) 필라멘트, 또는 부식성이 강한 적용개소를 위한 완전 세라믹 코팅(PCG554) 센서 장치와 함께 사용 가능
  • Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
  • 온보드 보정 데이터를 사용하여 플러그 앤 플레이 센서 요소를 교체하기 쉬움 – 높은 재현성과 낮은 소유 비용 보장
  • 통합 용이성을 위한 선택 가능한 출력신호
  • 옵션 대기 스위치, 디스플레이 및 디지털 인터페이스
  • 규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, CSA, RoHS

일반적인 응용 분야

  • 로드록 제어
  • 초기 진공 압력 측정
  • 진공 시스템 내 안전 회로
  • 중진공부터 저진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

사양서

PCG550 Tungsten
PCG552 Nickel
PCG554 ceramic coated
Measurement rangembar
Torr
5×10-5 … 1500
3.8×10-5 … 1125
   
Accuracy (N2)  
5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2)% of reading±50
1×10-3 … 100 mbar (N2)% of reading±15
100 … 950 mbar% of reading±5
950 … 1050 mbar% of reading±2.5
   
Repeatability   
1×10-3 … 1100 mbar (N2)% of reading±2
   
   
Admissible temperature 
Operation (ambient)°C+10 … +50
Storage°C-20 … +65
Bakeout at flange°C≤80
Bakeout at flange long tube°C≤250
   
Supply voltageV (dc)+15 … +30
   
Setpoint relay  
Number of setpoints 2
Range (N2)mbar5×10-5 … 1000
Relay contactRelay contactn.o., potential free
Hysteresis% of threshold10
Contact rating solid state relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤0.3
Contact rating mechanical relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤1
Switching timems≤30
   
Materials exposed to vacuum W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass
Measurement rangembar
Torr
5×10-5 … 1500
3.8×10-5 … 1125
   
Accuracy (N2)  
5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2)% of reading±50
1×10-3 … 100 mbar (N2)% of reading±15
100 … 950 mbar% of reading±5
950 … 1050 mbar% of reading±2.5
   
Repeatability   
1×10-3 … 1100 mbar (N2)% of reading±2
   
   
Admissible temperature 
Operation (ambient)°C+10 … +50
Storage°C-20 … +65
Bakeout at flange°C≤80
Bakeout at flange long tube°C≤250
   
Supply voltageV (dc)+15 … +30
   
Setpoint relay  
Number of setpoints 2
Range (N2)mbar5×10-5 … 1000
Relay contactRelay contactn.o., potential free
Hysteresis% of threshold10
Contact rating solid state relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤0.3
Contact rating mechanical relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤1
Switching timems≤30
   
Materials exposed to vacuum Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass
Measurement rangembar
Torr
5×10-5 … 1500
3.8×10-5 … 1125
   
Accuracy (N2)  
5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2)% of reading±50
1×10-3 … 100 mbar (N2)% of reading±15
100 … 950 mbar% of reading±5
950 … 1050 mbar% of reading±2.5
   
Repeatability   
1×10-3 … 1100 mbar (N2)% of reading±2
   
   
Admissible temperature 
Operation (ambient)°C+10 … +50
Storage°C-20 … +65
Bakeout at flange°C≤80
Bakeout at flange long tube°C≤250
   
Supply voltageV (dc)+15 … +30
   
Setpoint relay  
Number of setpoints 2
Range (N2)mbar5×10-5 … 1000
Relay contactRelay contactn.o., potential free
Hysteresis% of threshold10
Contact rating solid state relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤0.3
Contact rating mechanical relaysV (dc)
A (dc)
≤30
≤1
Switching timems≤30
   
Materials exposed to vacuum Al2O3, stainless steel
전체 사양 다운로드
Accessories
Spare Parts
PCG550 Tungsten
Part NumberDescription
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050

Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

 

PCG552 Nickel
Part NumberDescription
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050

Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

 

PCG554 ceramic coated
Part NumberDescription
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050

Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

 

PCG550 Tungsten
Part NumberDescription
211-097

Centering ring with fine filter DN 16 KF

 

PCG552 Nickel
Part NumberDescription
211-097

Centering ring with fine filter DN 16 KF

 

PCG554 ceramic coated
Part NumberDescription
211-097

Centering ring with fine filter DN 16 KF

 

PCG550 Tungsten
Part NumberDescription
303-333

Diagnostic cable 1.9m (P3)

 

PCG552 Nickel
Part NumberDescription
303-333

Diagnostic cable 1.9m (P3)

 

PCG554 ceramic coated
Part NumberDescription
303-333Diagnostic cable 1.9m (P3)
PCG550 Tungsten
Part NumberDescription
357-925PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF
357-926PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-927PCG550 Spare Sensor, DN16CF-F
357-928PCG550 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-929PCG550 Spare Sensor, DN25ISO-KF
357-930PCG550 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-931PCG550 Spare Sensor, 8-VCR
357-932PCG550 Spare Sensor, 4-VCR
357-933PCG550 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-934PCG550 Spare Sensor, 29x29mm
357-935

PCG550 Spare Sensor, 4-VCR / 90°

 

PCG552 Nickel
Part NumberDescription
357-936PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF
357-937PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-938PCG552 Spare Sensor, DN16CF-F
357-939PCG552 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-941PCG552 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-942PCG552 Spare Sensor, 8-VCR
357-943PCG552 Spare Sensor, 4-VCR
357-944PCG552 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-945PCG552 Spare Sensor, 29x29mm
357-946

PCG552 Spare Sensor, 4-VCR / 90°

 

PCG554 ceramic coated
Part NumberDescription
357-947PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF
357-948PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-949PCG554 Spare Sensor, DN16CF-F
357-950PCG554 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-951PCG554 Spare Sensor, DN25ISO-KF
357-952PCG554 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-953PCG554 Spare Sensor, 8-VCR
357-954PCG554 Spare Sensor, 4-VCR
357-955PCG554 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-956PCG554 Spare Sensor, 29x29mm
357-957PCG554 Spare Sensor, 4-VCR / 90°

Part Number

PCG55X PN
PCG55X PN

다운로드

3D 파일
MPCG55x_15DSub_8VCR
stp 1,8 MB 3D 파일
MPCG55x_15DsubHD_RS485_4VCR.stp
stp 1,8 MB 3D 파일
MPCG55x_Plug_RS485_16KF.stp
stp 1,7 MB 3D 파일
MPCG55x_Plug_RS485_8VCR.stp
stp 1,9 MB 3D 파일
PCG55x_15DSub_25KF
stp 1,7 MB 3D 파일
PCG55x_9DSub_DNet_8VCR (1).stp
stp 2,1 MB 3D 파일
PCG55x_9DSub_ECAT_25KF.stp
stp 5,1 MB 3D 파일
PxG55x_15DSub_16CF
zip 280,5 KB 3D 파일
PxG55x_15DSub_16KF
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zip 308,2 KB 3D 파일
PxG55x_15DSub_DNet_4VCR
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PxG55x_15DSub_PBus_16CF
zip 330,5 KB 3D 파일
PxG55x_15DSub_PBus_16KF
zip 324,9 KB 3D 파일
PxG55x_15DSub_PBus_4VCR
zip 331,4 KB 3D 파일
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zip 251,5 KB 3D 파일
PxG55x_9DSub_29x29
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PxG55x_9DSub_4VCR
zip 257,5 KB 3D 파일
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zip 214,3 KB 3D 파일
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zip 287,8 KB 3D 파일
PxG55x_9DSub_DNet_16KF
zip 282,3 KB 3D 파일
PxG55x_9DSub_DNet_25KF
zip 298,5 KB 3D 파일
PxG55x_9DSub_DNet_4VCR
stp 2,1 MB 3D 파일
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zip 349,0 KB 3D 파일
PxG55x_9DSub_EtherCAT_16KF
zip 344,2 KB 3D 파일
PxG55x_9DSub_EtherCAT_4VCR
zip 350,3 KB 3D 파일
PxG55x_9DSub_PBus_16CF
zip 305,0 KB 3D 파일
PxG55x_9DSub_PBus_16KF
zip 299,4 KB 3D 파일
PxG55x_9DSub_PBus_25KF
zip 299,6 KB 3D 파일
PxG55x_9DSub_PBus_4VCR
zip 305,8 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_16CF
zip 204,3 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_16KF
zip 252,7 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_25KF
zip 198,9 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_29x29
zip 172,0 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_4VCR
zip 205,2 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_4VCR_90
zip 175,9 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_DNet_16CF
zip 236,8 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_DNet_16KF
zip 231,2 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_DNet_4VCR
zip 237,7 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_PBus_16CF
zip 253,8 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_PBus_16KF
zip 248,2 KB 3D 파일
PxG55x_FCC_PBus_4VCR
zip 254,7 KB 3D 파일
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