핫 이온 게이지

Trigon™ BCG552

ATM - 초고진공 트리플게이지®

ACADEMY

산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

트리플게이지 BCG552는 3개의 진공 센서를 하나의 센서 플랜지에 결합한 제품입니다. 새로운 TrigonTM 제품군의 주력 제품인 이 제품은 UHV(5 x10^-10)에서 최대 ATM(1500 mbar)까지 매우 넓은 측정 범위를 제공합니다. ATM 센서가 추가된 BCG552는 차압 측정 및 여러 어플리케이션에서 진공 스위치로 사용할 수 있습니다.

지원되는 베이야드-알퍼트 이중 필라멘트는 UHV 및 HV 범위에서 뛰어난 정확도, 반복성 및 수명을 제공하며, 소형화된 커패시턴스 다이어프램 게이지는 ATM 범위에서 정확도가 뛰어나고 가스 종류에 무관합니다.

VacXplor™ Software

당사의 모듈식 사용자 소프트웨어인 VacXplor는 인피콘 트라이곤 게이지의 사용 경험을 향상시키기 위해 설계되었습니다. VacXplor는 통합 인터페이스, 동적 데이터 시각화 및 고급 사용자 지정 옵션을 제공하며, 설치 시 관리자 권한이 필요하지 않습니다.

여기에서 VacXplor™ 다운로드

장점

매우 넓은 측정 범위, 비용 절감 및 공간 절약을 위한 3 + 1 감지 요소
베이야드-알퍼트 시스템용 필라멘트 2개
10 Torr 이상에서 가스 종류에 독립적인 압력 측정으로 더욱 안정적인 모든 가스 혼합물에 대한 로드락 제어를 제공합니다.
차압 측정으로 대기압 변화와 관련된 불확실성 제거
자동 고진공 피라니 조정으로 작업자 개입 감소
전기 부유 전류를 방지하는 갈바닉 절연 전자 장치
에미션 스트림 전환 시 압력 급상승을 방지하는 슬라이딩 에미션 모드
셋포인트 릴레이
사용자 인터페이스가 있는 밝고 큰 OLED 디스플레이(90° 회전 가능)
아날로그 출력, RS232C 인터페이스, EtherCAT®
VGC50x 컨트롤러 시리즈와 함께 사용 가능
트리플게이지 BCG450과 호환 가능
RoHS 준수

대표적인 어플리케이션

반도체 공정, 이송 및 로드락 챔버의 압력 측정
산업용 코팅
저진공에서 초고진공 범위의 시스템에 대한 일반 진공 측정 및 제어

사양

측정 범위 (공기, O₂, CO, N₂)	5 × 10^-10 … 1500 mbar

정확도
950 ... 1050 mbar	±2.5% 측정값의
50 ... 950 mbar	±5% 측정값의
1 × 10^-8… 50 mbar	±15 측정값의

반복성	5% 측정값의 , 1 × 10^-8 … 1050 mbar (10분 안정화 후)

진공에 노출된 재료	스테인리스강, 니켈 도금, 하스텔로이, 유리, 이리듐, 산화 이트륨(Y2O3), 니켈, 텅스텐