센서 및 피드스루

프리커서 모니터링용 SemiQCM® SR 센서

탁월함을 반복 가능하게 만들다

ACADEMY

산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?

정밀한 증착 속도 및 두께 모니터링으로 수익을 보호하고 성장시키세요

SemiQCM SR 센서는 프리커서 모니터링 시스템의 한 구성 요소로, 다른 구성 요소로는 IMM-200과 FabGuard(버전 19.12.00-a 이상)가 있습니다.

반도체 공정 모니터링은 반도체 어플리케이션 분야에서 포어라인 또는 챔버 배기구의 프리커서 양을 모니터링함으로써 엔드포인트 감지와 결함 제거에 활용될 수 있습니다. In-situ QCM을 사용하면 비용 효율적인 공정 모니터링이 가능하며, 반도체 공정의 수익성을 향상시킬 수 있습니다.

웨이퍼에 프리커서가 전달되지 않는 문제는 단 한 장의 웨이퍼만으로도 감지할 수 있습니다.

장점

QCM 데이터 10Hz로 모니터링
FabGuard는 QCM 데이터를 장비 상태 및 공정 단계와 연계
증착 또는 식각 속도의 정밀 측정
단일 원자층 이하 두께까지 측정 가능한 민감도와 정밀도

특징

실시간 In-situ 공정 모니터링
과도한 식각 방지 및 챔버 클린 엔드 포인터 식별
장비 또는 공정 상태 이상 감지

일반적인 어플리케이션 분야

반도체 제조

사양서

최대 온도	200°C

센서 헤드 크기 (최대 외형)	23.9 mm O.D. x 29.2 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.)

센서 길이 (진공 내)	50–150 mm (1.97–5.91 in.)

장착 피드스루	ISO KF/CF 플랜지

재질
본체 및 홀더	304 스테인리스강
스프링	금 도금 베릴륨 구리 (Au 도금 BeCu)
동축 라인	외경 4.8 mm (0.188인치) 스테인리스강
기타 기계 부품	18-8 또는 304 스테인리스강, 니켈 C276
절연체	진공 내에서는 96% 이상 산화알루미늄 (Al₂O₃), 그 외 부분은 테프론® 사용
배선	진공 내에서는 니켈 (Ni), 그 외는 니켈 도금 구리 (Ni 도금 Cu)
브레이징	진공 공정용 고온 니켈-크롬 합금
크리스탈	지름 14.0 mm (0.551인치)

전체 사양 다운로드

소모품

파트 넘버	설명
750-1090-G10	SC컷 센서 크리스탈, 합금, 10개입
750-1137-G5	SC컷 센서 크리스탈, 이트리아, 5개입
750-1138-G5	SC컷 센서 크리스탈, 알루미나, 5개입

스페어 파트

부품 번호	설명
007-023	세라믹 리테이너, 전면 장착 센서
750-7065-G1S	14mm SR 잠금 크리스탈 홀더 예비 부품
750-7069-G1S	14mm SR 잠금 센서 본체 어셈블리 예비 부품
750-7084-G1S	14mm SR 크리스탈 홀더 어셈블리 예비 부품, 이트리아
750-7084-G2S	14mm SR 크리스탈 홀더 어셈블리 예비 부품, 알루미나
750-7084-G3S	14mm SR 크리스탈 홀더 어셈블리 예비 부품, 합금