真空开关

VSD200

设定点范围环境 -100 ... +50 Torr

VSA200

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 真空开关设计用于准确而可靠地测量压力。这些坚固的电子开关可用于所有真空,包括压力联锁。开关有两种版本:绝压型(基准为真空)或差压型(基准为环境)。

功能

  • IP 44 保护
  • 无源触点继电器输出
  • 高精度温度补偿传感器
  • 压力范围 1×10-9 mbar … 2 bar

好处

  • 耐腐蚀全不锈钢设计
  • 设计稳健,符合洁净室标准
  • 出厂预设或现场可调设定点,易于安装

典型应用

  • 适合各种真空应用的大气压检测
  • 压力互锁(电源、气源、泵、阀门、驱动装置等)
  • 真空至高真空

技术规格

-100 ... +50 Torr
-100 ... +50 mbar
设定点范围mbar
Torr

–99 … +46
继电器输出继电器输出n.o., n.c., potential free
设定点精度Torr±0.75
暴露于真空的材料 stainless steel
滞后Torr3
设定点范围mbar
Torr
–99 … +46
继电器输出继电器输出n.o., n.c., potential free
设定点精度Torr±0.75
暴露于真空的材料 stainless steel
滞后Torr3
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零件编号

VSD200 Ordering information
VSD200 Ordering information
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