热电离真空计

Trigon™ BCG552

ATM 至超高真空 TripleGauge®

嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！

TripleGauge® BCG552 在一个传感器法兰中集成了 3 个真空传感元件。这款新型 TrigonTM 系列的旗舰产品具有极宽的测量范围，从 UHV (5 x10^-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 传感器，BCG552 可用于压差测量，并在多个应用中用作真空开关。

支持的 Bayard-Alpert 双灯丝在 UHV 和 HV 范围内具有出色的精度、可重复性和使用寿命，而微型电容式隔膜真空计在 ATM 范围内具有出色的精度，并且不受气体类型的影响。

VacXplor™ Software

VacXplor 是我们的模块化用户软件，旨在增强您使用 INFICON Trigon 真空计的体验。VacXplor 提供统一的界面、动态数据可视化和高级定制选项，安装时无需管理员权限。

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优势

3 + 1 个传感元件，测量范围极广，降低成本，节省空间
双灯丝设计
独立于气体类型的压力测量（10 托以上）为任何混合气体提供更可靠的负载锁定控制。
压差测量消除了与大气压力变化有关的不确定性
自动高真空皮拉尼调节减少了操作员的干预
电隔离电子元件可避免杂散电流
滑动排放模式，避免在切换排放流时出现压力跳跃和冻结现象
设定点继电器
明亮大屏幕 OLED 显示屏（可 90° 旋转），带用户界面
模拟输出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
可与 VGC50x 控制器系列配合使用
向后兼容 TripleGauge® BCG450
符合 RoHS 规范

典型应用

半导体制程、传输和负载锁定室中的压力测量
工业镀膜
低真空至超高真空范围内系统的一般真空测量和控制

规格

测量范围 (空气, O₂, CO, N₂)	5 × 10^-10 … 1500 mbar

准确度
950 ... 1050 mbar	±2.5% 读数
50 ... 950 mbar	±5% 读数
1 × 10^-8… 50 mbar	±15% 读数

可重复性	5% 读数, 1 × 10^-8 … 1050 mbar (稳定 10 分钟后）

暴露在真空中的材料	不锈钢、镍铁合金、镀镍、哈氏合金、玻璃、铱、氧化钇 (Y2O3)、镍、钨