热电离真空计

BCG450

大气压至超高真空三合一真空计

INFICON Bayard-Alpert Pirani 电容式隔膜真空计 (Triple-Gauge™) BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10^-10 至 1500 mbar（3.75×10^-10 至 1125 Torr）的过程压力和基本压。BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流 Prani 和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。

好处

BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量仪器的安装与设置的复杂性
压力超过 10 Torr 时压力测量不受气体类型限制，可以为任何气体混合物提供更为可靠的预抽真空室控制
皮拉尼联锁保护丝极，防止过早烧毁
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员的干预
大气气压下压差测量消除了大气压力变化引起的不确定性
传感元件带有板载校准数据，易于更换，可保证再现性
备有可选的图形显示器和现场总线接口
符合 RoHS 标准

典型应用

对半导体过程和预抽真空室的压力测量
工业镀膜
在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制

规格

Measurement range (air, O₂, CO, N₂)	mbar Torr	5×10^-10 … 1500 3.75×10^-10 … 1125

Accuracy

10^-8 … 50 mbar	% of reading	±15
50 … 950 mbar	% of reading	±5
950 … 1050 mbar	% of reading	±2.5

Repeatability

10^-8 … 10^-2 mbar	% of reading	5

Temperature

Operation (ambient)	°C	0 … +50
Storage	°C	-20 … +70
Bakeout at flange	°C	80
Bakeout electronics removed	°C	150

Supply voltage	V (dc) A (dc)	20 … 28 0.8

Materials exposed to vacuum		Yt₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI₂O₃, SnAg, stainless steel, glass

在此下载完整的规格

Part Number

Accessories

Spare Parts

Part Number	Description
353-550	BCG450 DN 25 ISO-KF
353-551	BCG450 DN 40 CF-R
353-552	BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF
353-553	BCG450 LCD, DN 40 CF-R
353-554	BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-556	BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R
353-557	BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-558	BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R
353-592	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-517	BCG450-PN Profinet, DN 25 ISO-KF
353-518	BCG450-PN Profinet, DN 40 CF-R

Part Number	Description
353-511	Power supply BPG400 24VDC
353-512	Baffle for BPG400
211-113	Centering ring with baffle DN 25 KF

Part Number	Description
354-492	Spare sensor head BCG450, DN 25 ISO-KF
354-493	Spare sensor head BCG450, DN 40 CF-R

下载

手册

EtherCAT Brochure

pdf • 1,6 MB • 英文

Hot Ion Gauge Brochure

pdf • 1,1 MB • 英文

手册

TIRB61E1 TripleGauge BCG450 Communication protocol Profinet

pdf • 824,0 KB • 英文

TIRA41E1_TripleGauge BCG450 Communication protocol Profibus

pdf • 360,8 KB • 英文

TIMA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_kurz

pdf • 744,0 KB • 德语

TIMA41D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung Feldbusse_kurz

pdf • 752,2 KB • 德语

TINA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_lang

pdf • 1,9 MB • 德语

TIRB52e1_BCG450_Communication protocol EtherCAT_New Generation

pdf • 773,5 KB • 英文

TIRA87E1_TripleGauge BCG450_Communication protocol EtherCAT

pdf • 350,6 KB • 英文

TIMA41E1_TripleGauge BCG450 Operating manual for DNET and Profibus_short

pdf • 260,8 KB • 英文

TIRA40E1_TripleGauge BCG450 Communication protocol DeviceNet

pdf • 289,8 KB • 英文

TIMA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_short

pdf • 748,1 KB • 英文

TIMA41E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual Fieldbusses_short

pdf • 748,3 KB • 英文

TINA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_long

pdf • 1,8 MB • 英文

3D Step Files

353-517 BCG450 Profinet DN 25 ISO-KF

353-518 BCG450 Profinet DN 40 CF-R

353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF

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353-551 BCG450 DN 40-CF-R

zip • 455,6 KB

353-552 BCG450 LCD DN 25 ISO-KF

zip • 453,5 KB

353-553 BCG450 LCD DN 40 CF-R

zip • 459,6 KB

353-554 BCG450 Profibus DN 25 ISO-KF

zip • 459,8 KB

353-556 BCG450 Profibus DN 40-CF-R

zip • 467,2 KB

353-557 BCG450 DNET DN 25 ISO-KF

zip • 457,3 KB

353-558 BCG450 DNET DN 40-CF-R

zip • 462,3 KB

353-592 BCG450-SE EtherCAT 25 ISO-KF

zip • 197,6 KB

353-593 BCG450-SE EtherCAT 40 CF-R

zip • 196,8 KB

其他

eds • 53,7 KB • 英文

BCG450-float.eds

eds • 53,7 KB • 英文

BCG450_08E6.GSD

GSD • 2,5 KB • 英文

Inficon_450_SP_STEP7

zip • 857,1 KB • 英文

EtherCAT new generation ESI file BCG450 V2_0_0_0.xml

xml • 218,7 KB • 英文

ESI File_BCG450 V1_3_0_0

xml • 1,4 MB • 英文

Profinet GSDML File for BCG450

zip • 3,2 KB • 英文

该产品被用于以下市场

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