热电离真空计

BAG402

中到超高真空真空计

Pirani-BAG402-BPG400-BPG402

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!

INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装,在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。独特的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。

好处

  • 测量范围从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr)
  • 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
  • 超压检测保护丝极,防止过早烧毁
  • 双长使用寿命氧化钇铱丝
  • 自动发射电流选择降低了控制复杂性
  • 传感元件带有板载校准数据,易于更换,可保证高再现性
  • 符合 RoHS 标准

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 2.7×10-2
3.75×10-10 5×10-2
   
Accuracy   
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange without electronics °C80
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
≤0.8
在此下载完整的规格
Part Number
Accessories
Spare Parts
353-600BAG402 DSUB9 KF25
353-601BAG402 DSUB9 CF40
303-333Diagnostic cable 1.9m (P3)
354-484Spare sensor head BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485Spare sensor head BAG402 DN 40 CF-R
该产品被用于以下市场
Analytical-Instrumentation-Navi
分析仪器

分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具,涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作,帮助分析和识别最小的结构或元素组成,无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

了解更多
Battery-Market-Navi
电池

从电极生产到生产线终端EOL终端的测试

了解更多
Display-Navi
显示器

INFICON汇聚尖端科技,实现最高质量的显示器产品

了解更多
energy-market-navi
能源

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长,并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

了解更多
Industrial-Manufacturing-Navi-2
工业制造

其中,真空技术大多用于保证清洁的环境,并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

了解更多
Mobility_and_Automotive-Navi
移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试 。 汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

了解更多
Pharma_and_Medical-Navi
医药和医疗

提高生产力,帮助满足制药业的合规标准和质量要求 

了解更多
Research-and-Academia-Navi
研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

了解更多
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器,确保产品安全、提高产量和最高生产力。

了解更多
Vacuum_Coating-Navi
真空镀膜

真空镀膜市场远远超出了光学领域,正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

了解更多
我们需要您的视频内容同意
更多信息