冷阴极真空计
测量范围（mbar）
1 E-9 … 1 E-3
1 E-9 … atm
1 E-11 … 1 E-3
数字接口
EtherCAT
PROFINET
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光学气体分析仪
Augent® OPG550
INFICON Augent® 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。
Augent® OPG550
- 高速检漏，可进行腔体检漏
- 提高生产率和产量
- 寿命长，不烧丝，有气涌保护
- 可承受工艺化学反应
冷阴极真空计
Gemini® MxG5xx
INFICON Gemini® 倒置磁控管真空计是所有真空测量应用（专利申请中）的动力源泉。
Gemini® MxG5xx
- 在恶劣环境下，使用寿命长
- 低杂散磁场
- 零维护 - 可换插头
冷阴极真空计
MAG470
倒置磁控真空计适用于所有超高真空应用，测量范围为5x10-11 mbar
MAG470
- 测量范围低至 5x10-11 mbar
- 扩展性版本, 传感器烘烤至 250°C
- 良好的点火属性
- 容易清洗
冷阴极真空计
MPG40X
INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）
MPG40X
- 复合真空计 – 倒磁控管和皮拉尼
- 从 5 X 10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围
- 不会出现丝极烧毁的现象
- 卓越的点火属性
冷阴极真空计
MAG050, MAG060, MAG070
用于 VGC094 和 VGC083C 的冷阴极无源测量头
MAG050, MAG060, MAG070
- 基于倒置磁控管原理的表头设计可靠且经过验证
- 大真空压力测量范围能力从 1×10-11 (MAG070) 到 5×10-3 mbar
- 可烘烤至 150 °C (MAG050) 或 250 °C (MAG060, MAG070)
- 良好的点火性能
冷阴极规
MAG084
真空計頭 MAG084 是獨特的抗磁場倒置磁控管冷陰極真空計，專為搭配真空計控制器 VGC094 使用而設計。
MAG084
- 可在強大的外部磁场中持续运行
- 可靠且经验证的测量头设计，以倒置磁控管原理为基础
- 创新的双电离室原理
- 可烘烤至 230 °C