冷阴极真空计
测量范围(mbar)
1 E-9 … 1 E-3
1 E-11 … 1 E-3
数字接口
EtherCAT
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冷阴极真空计
Gemini™ MxG5xx
INFICON Gemini™ 倒置磁控管真空计是所有真空测量应用(专利申请中)的动力源泉。
Gemini™ MxG5xx
- 在恶劣环境下,使用寿命长
- 低杂散磁场
- 零维护 - 可换插头

冷阴极真空计
MAG470
倒置磁控真空计适用于所有超高真空应用,测量范围为5x10-11 mbar
MAG470
- 测量范围低至 5x10-11 mbar
- 扩展性版本, 传感器烘烤至 250°C
- 良好的点火属性
- 容易清洗

冷阴极真空计
MPG40X
INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力(3.8 x 10-9 Torr 至大气压力)
MPG40X
- 复合真空计 – 倒磁控管和皮拉尼
- 从 5 X 10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围
- 不会出现丝极烧毁的现象
- 卓越的点火属性