Vacuum Feedthroughs
로터리/선형 동작 피드스루 ISO-KF
INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.
드롭인 옵션
진공 측정기 경험을 혁신하세요!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
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INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.
사용 가능한 플랜지 설계 ISO-KF/ISO-K 및 CF는 당사 피팅 라인에 해당합니다. 모든 피드스루는 누출률 최대 1 x 10-9 mbarl/s인 진공 시스템에서 작동하기에 적합합니다. UHV의 경우 모든 금속 설계 피드스루도 사용할 수 있습니다.
장점
- 2개의 FPM 축 씰
- 다이렉트 푸시/풀 및 로터리 작동
- 잠금 링 및 옵션 회전 방지 장치 포함
- 2011/65/EU RoHS 준수
사양서
FCH016-H
FCH025-H
FCH040-H
| Vacuum connection | DN 16 ISO-KF | |
| Feedthrough/seal | FPM | |
| Shaft connection | M 3 / Ø5mm | |
| Travel | mm | 50 |
| Shaft load | ||
| Radial force at max.travel | N | 10 |
| Torsion torque | N•m | 2 |
| Tightness, static | mbar•L/s | 1 x 10-9 |
| Pressure (absolute) | 1 x 10-8 mbar ... 1bar | |
| Operating temperature | °C | 50 |
| Bakeout temperature | °C | 110 |
| Materials exposed to process media | stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082 | |
| Weight | kg | 0.1 |
| Vacuum connection | DN 25 ISO-KF | |
| Feedthrough/seal | FPM | |
| Shaft connection | M 4 / Ø8mm | |
| Travel | mm | 100 |
| Shaft load | ||
| Radial force at max.travel | N | 15 |
| Torsion torque | N•m | 8 |
| Tightness, static | mbar•L/s | 1 x 10-9 |
| Pressure (absolute) | 1 x 10-8 mbar ... 1bar | |
| Operating temperature | °C | 50 |
| Bakeout temperature | °C | 110 |
| Materials exposed to process media | stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082 | |
| Weight | kg | 0.2 |
| Vacuum connection | DN 40 ISO-KF | |
| Feedthrough/seal | FPM | |
| Shaft connection | M 6 / Ø12mm | |
| Travel | mm | 150 |
| Shaft load | ||
| Radial force at max.travel | N | 30 |
| Torsion torque | N•m | 20 |
| Tightness, static | mbar•L/s | 1 x 10-9 |
| Pressure (absolute) | 1 x 10-8 mbar ... 1bar | |
| Operating temperature | °C | 50 |
| Bakeout temperature | °C | 110 |
| Materials exposed to process media | stainless steel 304/1.4301, aluminum 6082 | |
| Weight | kg | 0.3 |
파트 넘버
| FCH016-H | |
| 214-320 | FCH016-H Rotary/linear motion feedthrough |
| 214-072 | Anti-rotation device DN 16 |
| FCH025-H | |
| 214-322 | FCH025-H Rotary/linear motion feedthrough |
| 214-073 | Anti-rotation device DN 25 |
| FCH040-H | |
| 214-324 | FCH040-H Rotary/linear motion feedthrough |
| 214-074 | Anti-rotation device DN 4 |
