GUARDIAN™ EIES 컨트롤러
Guardian은 증착 속도 0.1 ~ 10,000 Å/s 제어 가능
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Guardian은 증착 속도 0.1 ~ 10,000 Å/s 제어 가능. 이는 최대 8개 재료를 동시 증착하면서 1 ~2개의 센서를 작동하고 최대 8개의 광학 입력이 가능하며 최대 8개의 증착 소스를 제어합니다.
INFICON Guardian은 광전지 모듈, OLED, 광전지, 초전도성 박막 및 MBE의 제조와 같은 적용개소에 적합합니다.
Guardian 증착 시스템은 EIES(Electron Impact Emission Spectroscopy)를 기반으로 합니다. EIES를 사용하면 증착되는 재료는 열전자 방출제에 의해 자극되며 결과적으로 광양자를 만듭니다. 생성된 빛은 광학 필터를 통해 광전자 증배관(PMT) 검출기로 들어가, 통과된 파장의 발광 강도가 측정됩니다. 그런 다음 INFICON Guardian 컨트롤러는 해당 재료에 대한 소스를 제어하는 신호를 생성합니다. 적절한 광학 필터를 장착한 추가 검출기가 다양한 재료에 대해 사용됩니다.
전체 Guardian 시스템은 하나 이상의 센서, 하나의 PMT 검출기, 광학 필터, Guardian 컨트롤러 장치 및 Guardian 소프트웨어가 설치된 PC(사용자 제공)로 구성됩니다. EIES는 일반적으로 다양한 재료의 증착을 제어하는 데 사용됩니다. 따라서 대부분의 EIES 시스템에는 일부 재료의 증착 속도를 보정하거나 제어하기 위해 추가 센서, 검출기, 광학 구성품(예: 빔 스플리터) 및 QCM이 포함되어 있습니다. 일반적인 시스템에 대한 자세한 내용은 아래 다운로드 탭의 Guardian 구성 설명서에 있습니다.
Guardian 동시 증착 시스템을 구성하려면 다음 사항을 고려하십시오.
증착 재료에 대한 기본 및 보조 방사 파장이 무엇입니까?
서로 다른 재료가 서로 너무 가까이에 피크를 가지고 있는 경우, 낮은 신호 강도를 가진 보조 파장을 모니터링해야 할 수 있습니다.
증착 공정 동안, 진공 챔버에 있는 배경 가스는 무엇입니까? 그리고 해당 가스에 대한 방사 파장은 무엇입니까?
배경 가스의 방사가 증착 재료를 방해할 경우 가스 보상형 센서를 사용하는 것이 좋습니다.
EIES는 고유하게 정의되는 원자 종류의 스펙트럼에 가장 효과적입니다. 불안정하거나 넓은 방사 스펙트럼을 생성하는 분자 종류는 정확하게 측정할 수 없습니다. EIES는 유기 재료에는 사용하지 않는 것이 좋습니다. 이러한 요인 및 기타 요인들은 각각의 특정 적용개소에 대한 최적의 EIES 시스템 구성을 결정합니다.
특징
- 최대 8가지 재료의 동시 증착을 모니터링 및 제어
- 0.1 ~ 10,000 Å/s의 증착 속도
- 통합 EIES 및 QCM 박막 공정 제어
- 12개의 릴레이 출력과 12개의 디지털 입력
- 설치 및 작동을 위한 Windows 기반 소프트웨어
- INFICON Sentinel® 센서와 호환
사양서
| 사용 압력 | <5x10-4 Torr |
| 온도 | 450° C maximum during operation and/or bakeout |
| 제어 출력 | Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable |
| 컴퓨터 사용자 제공: | Any PC with Windows® Vista/XP/2000/7/8/10 operating system, and Ethernet or RS-232 interface |
파트 넘버
| Part Number | Description |
| 782-900-031 | Guardian Controller for one sensor (standard or gas compensating) |
| 782-900-050 | Guardian Controller for two sensors (standard or gas compensating) |
악세사리
| Part Number | Description |
| EIES Sensors | |
| 016-600-G22 | Guardian Standard Single Sensor and Feedthrough Assembly, 22 in. (539 mm), CF40 Flange |
| 016-601-G22 | Guardian Gas Compensating Sensor and Feedthrough Assembly, 22 in. (539 mm), CF40 Flange |
| Beam Splitters | Fiber Optic Beam Splitters split the beam of light from the sensor to allow measurement of multiple materials per EIES sensor. |
| 782-900-034 | Guardian Fiber Optic Beam Splitter (1:3) - 400 mm length |
| 782-900-034-x-yyy | Guardian Fiber Optic Beam Spliter (1:x) - yyy mm length |
| Filament Cables | Connects the EIES sensor to the Guardian controller |
| 600-1406-P10 | Guardian Single Filament cable, 10 ft. (3 m) - For standard EIES sensor |
| 600-1406-P40 | Guardian Single Filament cable, 40 ft. (12 m) - For standard EIES sensor |
| 600-1407-P10 | Guardian Dual Filament cable, 10 ft. (3m) - For gas compensating EIES sensor |
| 600-1407-P40 | Guardian Dual Filament cable, 40 ft. (12 m) - For gas compensating EIES sensor |
| PMT Detector | |
| 782-900-030 | Guardian PMT Detector |
| PMT Detector Cables | Connects the PMT Detector to the Guardian controller |
| 782-505-065 | Guardian Detector cable 10 ft. (3 m) |
| 782-505-065-40 | Guardian Detector cable, 40 ft. (12 m) |
| Optical Filters | Select the wavelength appropriate for your material |
| 782-900-035-202 | Optical filter - 202nm, BP10nm (Zn) |
| 782-900-035-241 | Optical Filter - 241nm, BP10nm (Co, Au) |
| 782-900-035-252 | Optical Filter - 252nm, BP10nm, (Si) |
| 782-900-035-265 | Optical Filter - 265nm, BP10nm, (Ge, Pt, Ta, Ir) |
| 782-900-035-267 | Optical Filter, 267 nm, Guardian |
| 782-900-035-294 | Optical Filter 294nm, BP2nm, (Hf) (Ga [when using a gas compensating sensor]) |
| 782-900-035-304 | Optical Filter 304nm, BP2nm (Ba, In [when using a gas compensation sensor]) |
| 782-900-035-325 | Optical Filter - 325nm, BP10nm (Cu, Cd) |
| 782-900-035-358 | Optical Filter - 358nm, BP10nm, (Nb, U, Cr) |
| 782-900-035-364 | Optical Filter - 364nm, BP10nm (Ti, Pb) |
| 782-900-035-396 | Optical Filter - 396nm, BP10nm, (Al) |
| 782-900-035-417 | Optical Filter - 417nm, BP2nm, (Ga) |
| 782-900-035-451 | Optical Filter - 451nm, BP5nm, (In) |
| Part Number | Description |
| 016-201-G1 | Emitter assembly for all 016-400-Gx sensors used in 016-600-Gxx and -601-Gxx |
| 782-900-038 | Guardian Photomultiplier Tube Replacement |
| 016-509-G22 | Guardian Sensor EIES In-vacuum Cable, 22 in. (559 mm), other lengths available |
| 782-530-015 | Guardian Sensor Filament Replacement (for discontinued 782-900-029 and -052 sensors) |
