진공 시스템의 성능은 내부 가스 환경에 달려 있습니다. 이 웨비나는 사중극 질량 분석계가 실제로 챔버 내의 가스를 어떻게 식별하고 정량화하는지를 포함하여, 원자 및 분자 기초부터 잔류 가스 분석(RGA)에 대한 심층적인 이해를 제공합니다.
이온화, 질량 필터링, 검출이 RGA 시스템 내에서 어떻게 함께 작동하는지 배우게 됩니다. 여기에는 필라먼트, 양극 케이지, 사중극 로드, 연속 다이노드 전자 증배기(CDEM)의 역할이 포함됩니다. 또한 질량 스펙트럼을 읽고 해석하는 방법, NIST 화학 웹북을 사용하여 미지의 피크를 식별하는 방법, 동위원소와 단편화 패턴이 분석에 어떤 의미를 갖는지도 설명합니다.
이 웨비나는 전체 Transpector® RGA 제품군을 다루며, 사용자가 자신의 응용 분야에 맞는 분석기를 선택할 수 있도록 압력 범위, 질량 범위 및 검출 한계를 비교합니다.
반도체, 박막, R&D 또는 가스 순도와 조성이 중요한 모든 응용 분야에서 진공 공정을 다루는 엔지니어 및 기술자를 위해 설계되었습니다.