Transpector® CPX 소개: 업계 최고의 성능과 신뢰성

반도체 산업에서는 성능과 정확성이 가장 중요합니다. 많은 제조 공정에는 공정 및 챔버 상태를 실시간으로 파악할 수 있는 RGA와 같은 현장 온라인 공정 모니터링 기능이 부족합니다. 그 결과 예기치 않은 다운타임, 일관되지 않은 결과, 장기적인 신뢰성에 대한 우려에 직면하게 됩니다. 

인피콘 Transpector® CPX 잔류 가스 분석기(RGA)는 반도체 제조업체가 직면한 현대적 과제를 해결하기 위해 특별히 설계되었습니다. 신뢰할 수 있는 실시간 실행 가능한 공정 및 챔버 데이터를 제공함으로써 툴 및 공정 소유자는 처리량을 극대화하고 공정 수율을 개선하기 위한 의미 있는 결정을 내릴 수 있습니다. 

세미팹은 더 이상 필요한 인사이트를 제공하지 못하는 기존 시스템에 의존할 필요가 없습니다. 이 솔루션의 네 가지 변화는 다음과 같습니다: 

1. 속도 및 감도: 업계 최고의 측정 속도와 감도를 갖춘 Transpector CPX는 매우 얇고 균일한 필름을 증착해야 하는 원자층 공정을 모니터링하고 원치 않는 편차를 감지할 수 있습니다. 
2. 실시간 데이터 정확도: 자동화된 보정을 통해 장기적인 데이터 신뢰성을 보장하므로 환경 변화나 도구마다 달라지는 환경에 관계없이 프로세스 모니터링의 정확성을 유지할 수 있습니다. 
3. 공간 절약형 설계: 이전 세대에 비해 시스템 부피가 30% 줄어든 Transpector CPX는 성능 저하 없이 공간 제약이 있는 환경에도 원활하게 통합됩니다. 
4. 유연성 및 다목적성: 구성 가능한 HexBlock 인렛은 최대 3개의 압력 인렛을 허용하여 고압 프로세스를 모니터링하거나 복잡한 설정을 위한 유연성이 필요한 경우 등 다양한 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. 

반도체 제조업체는 Transpector CPX와 같은 현장 온라인 프로세스 모니터링 시스템을 통합하여 보다 일관되고 예측 가능한 결과를 보장하고 운영 효율성을 높이며 비용이 많이 드는 가동 중단 시간을 줄일 수 있습니다. 생산 라인을 제어하고, 비용이 많이 드는 실수를 방지하고, 경쟁에서 앞서 나가세요.