50년 이상의 산업용 질량 분석 기술

50년 이상의 산업용 질량 분석 기술 경험을 바탕으로, 인피콘은 깊은 기술 전문성과 오랜 혁신의 전통을 자랑스럽게 생각합니다. 이 여정은 공학의 우수성과 리히텐슈타인의 Balzers AG에서 전임 전기 공학 책임자로 근무한 Dipl. El. Ing. ETHZ Remo Vogelsang과 같은 선구자들의 정신에 의해 형성되었습니다. 그는 1970년대 첫 번째 디지털 제어 쿼드러폴 질량 분석기의 개발을 주도했습니다. 그의 팀과 함께 이루어진 혁신적인 기여가 없었다면 현재의 질량 분석기 세대는 존재하지 않았을 것입니다.

수십 년간의 개발 과정을 되돌아보며, 우리는 이러한 성과를 인정하고 기리고자 합니다. 최근 우리는 Remo Vogelsang과 산업용 질량 분석기의 초기 시절에 대해 이야기를 나누는 영광을 가졌습니다. 현재 이 기술은 반도체 제조부터 달 탐사, 화산 활동 모니터링에 이르기까지 다양한 분야에서 필수적인 역할을 하고 있습니다.

이 혁신의 뿌리는 리히텐슈타인에 본사를 두고 진공 증발 기술의 선구자였던 라이볼트 인피콘과 Balzers AG로 거슬러 올라갑니다. 시간이 흐르며 Balzers AG는 여러 구조 조정 과정을 거쳤고, 그 중 일부 장비 사업부는 인피콘으로 분사되었습니다. 우리는 이 유산을 자랑스럽게 이어가며, 복잡한 센서 및 측정 시스템의 산업화에 특화되어 있습니다.

1967년 Balzers AG에서 첫 번째 쿼드러폴 질량 분석기가 출시된 이래로, 오늘날 인피콘의 AI 기반 스마트 센서에 이르기까지 우리는 다양한 산업 분야에서 정확한 가스 분석을 가능하게 해왔습니다. 시스템 통합 분야의 탄탄한 기반과 혁신에 대한 명확한 commitment를 바탕으로, 우리는 질량 분석법을 중요한 응용 분야에 더 접근하기 쉽고 신뢰할 수 있으며 영향력 있는 기술로 발전시키는 데 핵심적인 역할을 해왔습니다. Vogelsang과의 대화는 계측기 개발의 결정적인 시대를 조명하며, 질량 분석법의 초기 시절부터 우리가 얼마나 멀리 왔는지 상기시켜줍니다.

1972년, Remo Vogelsang은 전자 산업이 급속한 변혁을 겪고 있던 시기에 Balzers AG에 입사했습니다. 진공관이 반도체로 대체되고 통합 회로가 소형화와 성능 향상의 새로운 가능성을 열어가는 시기였습니다. 진공관 기반 시스템 분야에서 훈련을 받은 Vogelsang은 이 변화의 중심에 서게 되었습니다.

Hans Peter Egli와 함께 Vogelsang은 QMG 511의 핵심 개발 팀을 구성했습니다. 그들의 목표는 성공적인 QMG 300 모델을 더 강력하고 양산 가능한 장비로 발전시키는 것이었습니다. 팀은 새로운 분석기를 개발 중인 물리학자 Dr. Huber, Dr. Rettinghaus, Dr. Selhofer와 협력했으며, Carlo Hofmann과 Dr. Clinckemaillie 같은 마케팅 전문가들과도 긴밀히 협력해 장비가 실제 산업 현장의 요구사항을 충족하도록 했습니다.

시간이 지나면서 질량 분석 기술은 놀라운 발전을 이루었습니다. 초기 시스템은 크기가 크고, 광범위한 교정이 필요했으며, 감도가 제한적이었습니다. 오늘날 현대적인 질량 분석기는 고도로 자동화되어 실시간 데이터 처리를 제공하며, 산업 생산 라인에 원활하게 통합됩니다. 인피콘은 Balzers AG의 유산을 바탕으로 이러한 개선을 주도하는 데 중요한 역할을 했으며, 전 세계적인 네트워크를 통해 전문성을 확장해 왔습니다.

Vogelsang의 관점에서 보면, 질량 분석법의 기본 원리는 지난 50년간 변하지 않았지만, 그 외 모든 것이 개선되었습니다. “변화된 것은 신뢰성, 정밀도, 그리고 다양한 시장 요구사항을 충족하기 위해 특정 장비들이 어떻게 최적화되었는지입니다”라고 그는 말했습니다. “기본 원리는 여전히 동일하지만, 이제 더 빠르고, 더 컴팩트하며, 실제 환경에서의 성능을 최적화되었습니다.”

이러한 개선 사항은 질량 분석 기술의 진화 과정에서 달성된 여러 주요 이정표에 반영되어 있습니다.

• 더 높은 감도를 위한 개선된 쿼드러폴 및 이온 소스 설계, 반도체 및 휴대용 GCMS 응용 분야에 필수적
• 내구성과 휴대성, 우주용 질량 분석기 및 차량 장착형 GCMS 응용 분야에 필수적
• 전자 증배기 개선을 통해 반도체 공정에서의 매우 낮은 농도 검출 대응
• 제어 시스템 현대화를 통해 소형화, 컴팩트한 고속 센서 시스템 구현
• 쿼드러폴의 소형화를 통해 극한 고압 응용 분야 대응
• 통합: 혹독한 화학 응용 분야를 위한 소형 펌핑 시스템에 통합
• 디스플레이 진화: 내장형 디스플레이에서 디스플레이를 모방하는 소프트웨어(SQX 및 MQX)로, 이어 윈도우 기반 소프트웨어 제어까지
• FabGuard 소프트웨어 도입: 제조 도구와 직접 통합되어 해당 제조 도구 내에서 RGA 데이터를 활용해 더 스마트한 결정을 지원하는
• 반도체 응용 분야를 위한 맞춤형 RGA에는
  • Metal PVD 모니터링
  • CVD/ALD 및 극한 환경에서의 수명 개선
  • Furnace 및 열처리 모니터링
  • 선택적 식각 모니터링
• 확장된 시장 응용을 위한 맞춤형 RGA에는 다음과 같은 것이 포함됩니다
  • 환경
  • 냉매, 자동차, 에어컨 모니터링을 위한 누설 테스트 응용
  • 리튬 이온 배터리 테스트

우리는 질량 분석 분야에서 세계적인 리더로서 자부심을 느낍니다. 우리의 기술은 전 세계 반도체 제조업체, 특히 장비 제조업체와 칩 제조업체로부터 신뢰를 받고 있습니다. 아시아, 유럽, 미국에 위치한 최첨단 반도체 팩토리들은 매일 우리의 질량 분석기를 사용하여 공정 제어, 추적 가스 감지, 오염 분석을 최고 수준의 정밀도로 수행하고 있습니다.

이 모든 것은 세계 최초의 산업용 질량 분석기인 QMG 511로부터 시작되었습니다. 이후로 우리 장비의 각 신규 세대는 최상위 제품으로서의 기준을 계속 설정해 왔으며, 반도체 제조업체들이 기술과 신뢰성의 한계를 넘어설 수 있도록 지원해 왔습니다.

하지만 우리의 혁신은 반도체에 그치지 않습니다. 우리는 전기차(EV) 및 소비자 배터리 분야의 누설 검출 기술에서도 선도적인 역할을 담당하며, 전기차, 스마트폰, 기타 핵심 기기의 안전성과 성능을 보장합니다. 우리의 HAPSITE 이동식 실험실은 긴급 대응, 환경 보호, 군사 용도를 위한 신속한 현장 화학 분석을 제공합니다.

지난 50년간 쿼드러폴 질량 분석법의 발전은 지속적인 기술 혁신으로 특징지어졌습니다. 다음 타임라인은 우리 장비의 진화 과정에서 중요한 이정표를 강조합니다—최초의 프로토타입부터 오늘날의 스마트하고 연결된 플랫폼까지.

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