1. 금속 세라믹 연결
진공 피드스루

금속 세라믹 연결

Metal-Ceramic-Connections-2kV-to-10kV
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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장점

  • 고급 재료를 통해 최대 400°C까지 반복 베이킹 가능
  • 2011/65/EU RoHS 준수

사양

3 kV
2 kV
5 kV
10 kV
전압 1) 3 kV
절연체 Al2O3
연결
a Fe-Ni
b Fe-Ni
베이크 아웃 온도°C400
기밀성mbar•l/s5 x 10-11
무게g5
1) 양쪽 대기에서의 공기 및 표면 누설에 대해 VDE 0110을 기반으로 함.

    압력이 10⁻⁴ mbar 미만일 경우 값이 최대 두 배까지 허용됨.

 

전압 1) 2 kV
절연체 Al2O3
연결 
a Fe-Co
b 스테인레스 스틸
304/1.4301
베이크 아웃 온도°C400
기밀성mbar•l/s5 x 10-11
무게g12
1) 양쪽 대기에서의 공기 및 표면 누설에 대해 VDE 0110을 기반으로 함.

    압력이 10⁻⁴ mbar 미만일 경우 값이 최대 두 배까지 허용됨.

 

전압 1) 5 kV
절연체 Al2O3
연결 
a Fe-Co
b 스테인레스 스틸
304/1.4301
베이크 아웃 온도°C400
기밀성mbar•l/s5 x 10-11
무게g25
1) 양쪽 대기에서의 공기 및 표면 누설에 대해 VDE 0110을 기반으로 함.

    압력이 10⁻⁴ mbar 미만일 경우 값이 최대 두 배까지 허용됨.

 

전압 1) 10 kV
절연체 Al2O3
연결 
a Fe-Ni
b 스테인레스 스틸
304/1.4301
베이크 아웃 온도°C400
기밀성mbar•l/s5 x 10-11
무게g90
1) 양쪽 대기에서의 공기 및 표면 누설에 대해 VDE 0110을 기반으로 함.

    압력이 10⁻⁴ mbar 미만일 경우 값이 최대 두 배까지 허용됨.

 

전체 사양 다운로드

파트 넘버

설명 
214-161Metal Ceramic Connections, 3 kV Connector
214-162Metal Ceramic Connections, 2 kV Connector
214-163Metal Ceramic Connections, 5 kV Connector
214-164Metal Ceramic Connections, 10 kV Connector
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