진공 피드스루
동축 피드스루
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON은 특별한 요구사항에 맞춰 MIL-C-39012A에 기반한 BNC/MHV 동축 피드스루를nbsp;ISO-KF 및 CF-F 플랜지와 5가지 사양 범위에서 제공합니다.
장점
- MIL-C-39012A 기반
- 최대 5kV DC 전압
- 대기 커넥터 포함
- 2011/65/EU RoHS 준수
사양
BNC DN16 ISO-KF
MHV DN16 ISO-KF
BNC DN16 CF-F
MHV DN16 CF-F
MHV DN40 CF-F
| 진공 연결 | DN 16 ISO-KF | |
| 피드스루 수 | 1 | |
| 전압 | ||
| AC, 50 Hz | kV | 0.35 |
| DC | kV | 0.5 |
| 전류 | A | 3 |
| 주파수 | MHz | 150 |
| 임피던스 | Ω | 50-60 |
| 20°C에서 절연 저항 | Ω | 1010 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 1 × 10-9 |
| 압력(절대) 1) | 1 x 10-8 mbar … 2.5 bar | |
| 재료 | ||
| 하우징, 플랜지, 도체 | 스테인레스 스틸 | |
| 피드스루, 씰 | Al2O3 | |
| 베이크 아웃 온도 | ||
| 커넥터 포함 | °C | 50 |
| 커넥터 미포함 | °C | 200 |
| 표준 연결 | ||
| 대기 커넥터 | UG 88/U | |
| 케이블 | RG 58/U | |
| 무게 | kg | 0.1 |
1) 400°C에서 압력: 2바
| ||
| 진공 연결 | DN 16 ISO-KF | |
| 피드스루 수 | 1 | |
| 전압 | ||
| AC, 50 Hz | kV | 3.5 |
| DC | kV | 5 |
| 전류 | A | 3 |
| 주파수 | MHz | |
| 임피던스 | Ω | |
| 20°C에서 절연 저항 | Ω | 1010 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 1 × 10-9 |
| 압력(절대) 1) | 1 x 10-8 mbar … 2.5 bar | |
| 재료 | ||
| 하우징, 플랜지, 도체 | 스테인레스 스틸 | |
| 피드스루, 씰 | Al2O3 | |
| 베이크 아웃 온도 | ||
| 커넥터 포함 | °C | 50 |
| 커넥터 미포함 | °C | 200 |
| 표준 연결 | ||
| 대기 커넥터 | UG 932/U | |
| 케이블 | RG 59/U | |
| 무게 | kg | 0.1 |
1) 400°C에서 압력: 2바
| ||
| 진공 연결 | 16 ISO-CF-F | |
| 피드스루 수 | 1 | |
| 전압 | ||
| AC, 50 Hz | kV | 0.35 |
| DC | kV | 0.5 |
| 전류 | A | 3 |
| 주파수 | MHz | 150 |
| 임피던스 | Ω | 50-60 |
| 20°C에서 절연 저항 | Ω | 1010 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 1 × 10-10 |
| 압력(절대) 1) | 1 x 10-10 mbar … 10 bar | |
| 재료 | ||
| 하우징, 플랜지, 도체 | 스테인레스 스틸 | |
| 피드스루, 씰 | Al2O3 | |
| 베이크 아웃 온도 | ||
| 커넥터 포함 | °C | 50 |
| 커넥터 미포함 | °C | 400 |
| 표준 연결 | ||
| 대기 커넥터 | UG 88/U | |
| 케이블 | RB 58/U | |
| 무게 | kg | 0.14 |
1) 400°C에서 압력: 2바
| ||
| 진공 연결 | 16 ISO-CF-F | |
| 피드스루 수 | 1 | |
| 전압 | ||
| AC, 50 Hz | kV | 3.5 |
| DC | kV | 5 |
| 전류 | A | 3 |
| 주파수 | MHz | |
| 임피던스 | Ω | |
| 20°C에서 절연 저항 | Ω | 1010 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 1 × 10-10 |
| 압력(절대) 1) | 1 x 10-10 mbar … 10 bar | |
| 재료 | ||
| 하우징, 플랜지, 도체 | 스테인레스 스틸 | |
| 피드스루, 씰 | Al2O3 | |
| 베이크 아웃 온도 | ||
| 커넥터 포함 | °C | 50 |
| 커넥터 미포함 | °C | 400 |
| 표준 연결 | ||
| 대기 커넥터 | UG 932/U | |
| 케이블 | RG 59/U | |
| 무게 | kg | 0.14 |
1) 400°C에서 압력: 2바
| ||
| 진공 연결 | 40 ISO-CF-F | |
| 피드스루 수 | 3 | |
| 전압 | ||
| AC, 50 Hz | kV | 3.5 |
| DC | kV | 5 |
| 전류 | A | 3 |
| 주파수 | MHz | |
| 임피던스 | Ω | |
| 20°C에서 절연 저항 | Ω | 1010 |
| 기밀성 | mbar•l/s | 1 × 10-10 |
| 압력(절대) 1) | 1 x 10-10 mbar … 10 bar | |
| 재료 | ||
| 하우징, 플랜지, 도체 | 스테인레스 스틸 | |
| 피드스루, 씰 | Al2O3 | |
| 베이크 아웃 온도 | ||
| 커넥터 포함 | °C | 50 |
| 커넥터 미포함 | °C | 400 |
| 표준 연결 | ||
| 대기 커넥터 | UG 932/U | |
| 케이블 | RG 59/U | |
| 무게 | kg | 0.5 |
1) 400°C에서 압력: 2바
| ||
파트 넘버
| 파트 넘버 | 설명 |
| 214-151 | Coaxial Feedthroughs, BNC DN16 ISO-KF |
| 214-152 | Coaxial Feedthroughs, MHV DN16 ISO-KF |
| 214-155 | Coaxial Feedthroughs, BNC DN16 CF-F |
| 214-156 | Coaxial Feedthroughs, MHV DN16 CF-F |
| 214-157 | Coaxial Feedthroughs, MHV DN40 CF-F |
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Koaxialdurchführungen BNC MHV DE
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Coaxial Feedthroughs BNC MHV EN
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Terminales de paso coaxiales BNC MHV ES
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同軸フィードスルー BNC MHV JA
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同轴馈入装置 BNC MHV ZH
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동축 피드스루 BNC MHV KO
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