Vacuum Feedthroughs

로터리 피드스루 CF

INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.

Rotary-Feedthroughs-CF

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.

사용 가능한 플랜지 설계 ISO-KF/ISO-K 및 CF는 당사 피팅 라인에 해당합니다. 모든 피드스루는 누출률 최대 1 x 10-9 mbarl/s인 진공 시스템에서 작동하기에 적합합니다. UHV의 경우 모든 금속 설계 피드스루도 사용할 수 있습니다.

장점

  • 벨로우즈 씰링
  • 순금속 버전
  • 매우 까다로운 진공 요건에 적합
  • 2011/65/EU RoHS 준수

사양서

FRU016-H
FRU040-N
FRU040-L
Vacuum connection DN 16 CF-F
Feedthrough/seal bellow
Shaft connectionmm4
Transferable torque
DynamicN•m0.4
Dynamic, at 300 °CN•m0.2
StaticN•m0.2
Rotational speedRPM200
At max. torqueRPM­
Shaft load vacuum sided
Radial forceN10
Axial forceN5
Service lifeRevolutions1 000 000
Scale divisiondegree10
Tightnessmbar•L/s5 x 10-11
Pressure (absolute) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
Operating temperature°C300
Bakeout temperature°C300
Materials exposed to process media 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360
Weightkg0.3
Vacuum connection DN 40 CF-F
Feedthrough/seal bellow
Shaft connectionmm8
 
Transferable torque4
DynamicN•m2
Dynamic, at 300 °CN•m3
StaticN•m1000
Rotational speedRPM500
At max. torqueRPM 
60
Shaft load vacuum sided20
Radial forceN2 000 000
Axial forceN
Service lifeRevolutions5 x 10-11
Scale divisiondegree1 x 10-10 mbar ... 2 bar
Tightnessmbar•L/s300
Pressure (absolute) 300
Operating temperature°C304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360
Bakeout temperature°C1.5
Materials exposed to process media 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360
Weightkg0.3
Vacuum connection DN 40 CF-F
Feedthrough/seal bellow
Shaft connectionmm12
 
Transferable torque10
DynamicN•m2
Dynamic, at 300 °CN•m5
StaticN•m500
Rotational speedRPM300
At max. torqueRPM 
100
Shaft load vacuum sided30
Radial forceN1 000 000
Axial forceN
Service lifeRevolutions5 x 10-11
Scale divisiondegree1 x 10-10 mbar ... 2 bar
Tightnessmbar•L/s300
Pressure (absolute) 300
Operating temperature°C304L/1.4306, 304/1.4301, 303/1.4305
Bakeout temperature°C3
Materials exposed to process media 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360
Weightkg0.3
전체 사양 다운로드

파트 넘버

FRU016-H 
214-310FRU016-H Rotary feedthrough DN 16 CF-F
FRU040-L 
214-314FRU040-L Rotary feedthrough DN 40 CF-F
FRU040-N 
214-312FRU040-N Rotary feedthrough DN 40 CF-F
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