커패시턴스 마노메타

SKY® CDG025D

풀 스케일 0.1 ~ 1000 Torr/mbar

Sky CDG025D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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매우 정확한 온도 보정 압력계의 INFICON SKY CDG025D 용량식 격막 진공계 제품군은 열악한 제조 공구 환경에서 안정적인 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 고급 디지털 전자장치는 게이지 성능을 향상시키고 하나의 누름 버튼 제로 기능 및 설정점 조정과 같이 다루기 쉬운 기능을 제공합니다. 내부식성 세라믹 센서는 대기 버스트를 포함하여 몇 백만 압력 주기의 긴 예상 수명과 함께 탁월한 제로 안정성을 제공합니다. 고유한 센서 차폐(특허 출원 중)는 프로세스 오염으로부터 게이지를 보호합니다. 견고한 기계 설계 및 디지털 전자장치는 EMC 호환성, 장기간 안정성 및 온도 보정을 향상시킵니다. CDG025D는 전원을 켠 후 신속한 안정성과 대기압 노출로부터 신속한 복구를 위한 새로운 표준을 정립합니다.

장점

  • 100 mTorr ~ 1000 Torr의 전체 범위
  • 전원을 켠 후 조기 안정화
  • 대기압에서 빠르게 복원
  • 내부식성 세라믹 센서
  • 뛰어난 장시간 신호 안정성
  • 온도 보상
  • 오염 방지 센서
  • 원 푸시 버튼 제로 기능
  • 광범위한 전원 공급

일반적인 응용 분야

  • Etch, CVD, PVD, ALD용 반도체 제조 장비
  • 데이터 저장 및 디스플레이 제조 장비
  • 산업용 진공 장비
  • 일반 고정밀 압력 측정

사양서

1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
정확성 % of reading0.2
해상도percent FS0.003
출력신호(아날로그)V (dc)0 … +10
응답 시간 ms30
진공에 노출된 재료

 

 

Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
정확성 % of reading0.2
해상도percent FS0.003
출력신호(아날로그)V (dc)0 … +10
응답 시간 ms30
진공에 노출된 재료

 

 

Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
정확성 % of reading0.2
해상도percent FS0.003
출력신호(아날로그)V (dc)0 … +10
응답 시간 ms30
진공에 노출된 재료

 

 

Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
정확성 % of reading0.25
해상도percent FS0.003
출력신호(아날로그)V (dc)0 … +10
응답 시간 ms130
진공에 노출된 재료

 

 

Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
정확성 % of reading0.5
해상도percent FS0.003
출력신호(아날로그)V (dc)0 … +10
응답 시간 ms130
진공에 노출된 재료

 

 

Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass
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