피라니 게이지

PPG570

ATM - 중진공 게이지 + ATM 스위치

Pirani-PPG570

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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새로운 INFICON Pirani Piezo 조합 게이지(PPG570)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 하며 PPG550 "ATM ~ 중진공" 게이지에도 사용됩니다. 

PPG570과 PPG550의 차이점은 기존 로드락 어플리케이션에서 PPG570을 사용할 수 있게 해주는 추가 설치된 ATM 센서입니다. 예를 들어 반도체 산업 또는 대기압에 대한 정확한 압력 측정이 중요한 기타 진공 어플리케이션에서. 

MEMS 공정에서 소형화된 피라니/피에조 컴비네이션 기술은 매우 작은 센서 구성을 가능하게 하여 공간 절약형 센서로 측정 장치의 전체 높이를 매우 작게 유지할 수 있습니다. 

낮은 높이의 이점 외에도 MEMS 기술 기반의 피라니는 기존 피라니보다 HV 범위에서 더 깊고 정확하게 측정할 수 있는 이점도 제공합니다. 동일한 플랜지에 장착된 MEMS 피에조 센서와 결합하여 피라니 게이지는 일반적인 1000mbar를 훨씬 넘어 대기 쪽으로 측정 범위를 확장하는 진정한 진공 광역 게이지가 됩니다. 동시에 MEMS 피에조 센서는 2 ... 1333 mbar 범위에서 가스 유형 독립적인 압력 측정을 제공합니다. 언급된 기술의 또 다른 장점은 가속력과 진동에 대한 저항력이 증가했다는 것입니다. 

마지막으로 새로운 INFICON PPG570을 사용하여 소위 MKS Instruments MKS901P " MicroPirani ™ 및 Piezo Loadlock 진공 압력 변환기"를 직접 교체할 수 있습니다. PPG570 은 동일한 커넥터/핀맵, 아날로그 출력 및 RS232/485 디지털 통신 프로토콜 호환성을 제공합니다.

장점

  • 2mbar 이상에서 독립적인 가스 유형 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 배출할 수 있습니다.
  • 대기에서 높은 정확도와 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 기압 감지
  •  대기압 측정
  • 최대 3개의 솔리드 스테이트 릴레이
  • 다양한 장착 방향 - 도구 설계에서 엔지니어링의 자유를 제공합니다.
  •  손쉬운 시스템 통합을 위한 선택 가능한 아날로그 출력 신호
  • 디지털 인터페이스 RS232/ RS485
  • MKS901P "MicroPirani™ - 및 Piezo Loadlock 진공 압력 변환기"를 직접 교체할 수 있습니다.
  • 규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, CSA, RoHS

일반적인 응용 분야

  • 반도체 로드락 애플리케이션
  • 분석 장비/질량 분광계에 사용
  • 물리적 기상 증착
  • 물리적 기상 증착 

사양서

Measurement range (N2)mbar1x10-6 … 1333
   
Accuracy   
1100 ... 1333 mbar% of reading0.5
800 ... 1099 mbar% of reading0.25
100 ... 800 mbar% of reading0.5
2 ... 99.9 mbar% of reading1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar% of reading5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar% of reading25
   
Temperature compensation°C+10 … +50
   
Temperature measurement absolute accuracy°C+1.5 (0 … +80)
   
Supply voltage at the gaugeV (dc)+12 … +30 ripple max. 1 Vpp
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INFICON Communicator V1.0

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제품은 다음 마켓에서 사용됩니다
Analytical-Instrumentation-Navi
分析仪器

분석 기기 시장은 광범위한 어플리케이션 및 시장 분야에서 고도로 정교한 장비 사용자를 지원합니다. 인피콘은 기체, 액체 또는 고체일 수 있는 가장 작은 구조 또는 요소 구성을 분석하고 식별하는 데 도움이 되는 최첨단 기술 제조업체와 협력합니다. 

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Battery-Market-Navi
배터리

전극 생산에서 최종 라인 테스트까지 

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Display-Navi
디스플레이

INFICON은 첨단 기술을 지원하고 최고 품질의 디스플레이 제품을 가능하게 합니다 

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에너지

전통적인 석유 및 가스 생산은 지난 수십 년 동안 수요가 증가했으며 개발 도상국의 인구 증가, 도시화 및 소비자 중산층에 의해 추진되고 있습니다.

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생산성 향상 및 제약 분야의 규정 준수 표준 및 품질 요구 사항 충족 지원 

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