Sensors & Feedthroughs

CRYSTALSIX® 센서

CrystalSix-Sensor
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON CrystalSix 센서는 지속적인 속도 제어가 요구되는 긴 공정에서 중요합니다. OLED, MBE, 태양광, 장기 광학 코팅 또는 챔버 환기 사이 시간이 긴 기타 공정 등에서 CrystalSix 센서는 하나의 센서 헤드에 6개의 석영 모니터 크리스탈의 안전을 담당합니다. INFICON 박막 컨트롤러와 함께 사용하면 CrystalSix는 현재 크리스탈이 고장 나거나 불안정할 때마다 새 크리스탈을 제위치로 자동으로 회전시킵니다. 연속적인 증착 속도 모니터링을 위해 공정을 중단하지 않고 크리스탈이 자동으로 교체됩니다.

크리스탈 인덱싱은 공압 구동 방식으로 이루어집니다. 이 공압 구동 모터는 열을 발생시키는 비싼 진공 전기 모터를 사용하는 경쟁 제품보다 우수한 크리스탈 열 안정성을 제공합니다. 1/8인치 수냉 튜브는 센서 헤드의 열 안정성을 유지하고 센서 배치에서 유연성을 제공합니다.

특정 INFICON 박막 컨트롤러와 함께 사용하면 이 센서는 위치 피드백을 제공하므로 특정 위치에서 특정 재료를 사용할 수 있습니다.

특징

  • Holds 6 crystals with robust, automatic switching to maximize process uptime
  • Stable crystal temperature, because crystal switching is pneumatically-driven (competitive units use heat-generating motors)
  • 1/8" tubes maintain thermal stability and allow flexibility in sensor placement
  • Optional crystal shutter available

사양서

최대 베이크아웃 온도(물 없음)130°C
최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도400° C
크리스탈 교환Front-loading, extraction tool required (supplied with unit)
워터 및 에어 튜브S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing
전체 사양 다운로드

파트 넘버

Part NumberDescription
750-446-G1CrystalSix sensor (sensor only, no feedthrough included)

악세사리

Accessories
Consumables
Spare Parts
NameDescription
QCM Sensor FeedthroughsQCM Sensor Feedthroughs
NameDescription
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
Part NumberDescription
007-007Retainer spring (for crystal holder)
007-023Ceramic Retainer
070-0170#2 Lockwasher (part of heat shield assembly)
070-0398Retaining ring (secures bearing located next to pawl and actuator stem)
070-0777Compression spring (on carousel shaft)
070-0778Ball bearing (underneath carousel)
070-0779Ball bearing
070-0870Teflon washer (on carousel shaft)
070-0877Shim spacer (part of heat shield assembly)
070-0879Bearing (at center of top plate weld assembly)
073-114Wire .022 in. x 1.06 in (clamps heat shield retaining pin)
082-026# 2-56 Nut (part of heat shield assembly)
750-048-P1Retainer spring for 007-048 and 751-619-G1 sputtering head bodies
750-175-P1Insulator (underneath leaf spring)
750-188-P3Leaf Spring
750-249-P2Retaining pin (part of heat shield assembly)
750-250-G1Deposition Shield, CrystalSix Sensor
750-256-P2Extension spring
750-257-P3Corrugated spring 4.40 in. (11.2 cm)
750-261-G1Carousel assembly (includes resistor network and electrical contacts)
750-262-G1Crystal holder
750-265-G1Top plate weld assembly
750-276-P2Actuator cover
750-278-P2Water line
750-286-P2Pneumatic actuator
750-290-P3Carousel electrical contacts (set of eight)
750-901-G1Crystal 6 Kit
750-293-P2Ratchet
750-294-P2Stop ratchet
750-295-G1Pawl and actuator
750-336-G1Resistor network assembly
750-338-P1Contact insulator (underneath carousel electrical contacts)
In-vacuum cables 
321-039-G12In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.)
007-252In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.)
321-039-G11In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.)
007-044In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.)
007-059In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.)
007-061In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G13In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G14In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G15In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU
321-039-G16In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU
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