将过程智能嵌入长线泄漏检测系统

为维持最高安全与纯净标准，晶圆厂采用管道系统的综合检测方案，包括检查、测试及持续监测。长距离气体管道在安装或维护后，必须通过低至1x10⁻⁷ mbar l/s的泄漏率测试。验证气体输送管道完整性的常规方法是氦气泄漏测试，其流程包括：

1. 对管道内部进行抽真空
2. 在管道外部表面喷洒氦气
3. 检测因压差导致氦气通过泄漏点进入系统的情况

作为氦气泄漏检测的补充，实时气体分析仪在加工过程中持续监测气体纯度和压力，对可能表明完整性损失的偏差提供早期预警。

尽管该方法灵敏度极高，但管道系统本身的复杂性使其具有固有挑战性，且随着管道长度和直径的增加，这些挑战将进一步加剧。在长距离或复杂的管道系统中，氦气从泄漏点传播至探测器可能需要相当长的时间。这将导致:

• 更长的测试时间
• 信号响应延迟
• 晶圆厂建设或扩建期间效率降低

这些挑战不仅需要更强大的工具，更需要深厚的应用专业知识。

凭借数十年来为全球半导体工厂提供支持的经验，INFICON通过将成熟技术与深厚的应用经验相结合，提升了标准泄漏检测水平。
为解决传统氦气喷射测试在长气体管道上的局限性，专家们将氦气泄漏检测与受控载气流量相结合。即使采用极低载气流量（仅需每分钟数标准立方厘米级），也能显著提升检测效能。实验室测试证实：约100 sccm级流量通常足以增强信号传播与检测效果，无需大流量供气或改变基本测试条件。该方法具有以下优势：

• 在管道的一端引入载气（通常为空气或氮气）
• 泄漏检测器连接在另一端
• 通过泄漏进入的氦气立即与载气混合
• 气体混合物被快速输送至检测器

这种方法显著缩短了响应时间，即使在长距离或复杂的管道系统中，也能在数秒内完成泄漏检测。

INFICON应用工程师安雅·苏托里乌斯解释道：“使用氮气作为载气具有关键的额外优势。” "它能显著减少长气管内残留氦气的量，在降低背景氦气浓度的同时，使系统获得更纯净的信号、更高的检测灵敏度、更快的连续测试间稳定性，并大幅降低示踪气体残留风险。这种改进在洁净室环境中尤为重要——即使微量氦气积聚也可能干扰其他测试流程或精密工艺测量。" 

工程师在泄漏测试时可选择不同的载气，从而在需要时维持惰性环境。

INFICON先进的泄漏检测方法与应用专长带来可量化的优势：

• 显著加快长管道和扩展系统的泄漏检测速度
• 在难以触及或复杂的安装环境中提升测试可靠性
• 通过降低背景氦气实现灵敏度提升
• 通过最大限度减少示踪气体的使用来降低环境影响