过程控制
FabGuard®
FabGuard®
ASG-100
故障安全开关
安全地实现晶圆厂与工艺数据整合带来的效益。
在要求严苛的半导体制造领域，SEMI S2指南确立了设备满足关键环境、健康与安全要求的标准。合规不仅保障人员、设备及设施安全，更确保晶圆厂能够安心运行。
FabGuard® ASG-100故障安全开关与INFICON FabGuard软件无缝集成，使晶圆厂能够通过SEMI S2认证解决方案远程安全控制地下系统及设备。这款故障自锁远程开关的设计确保系统持续运行，即使FabGuard控制软件与目标设备通信中断，也不会向环境释放未受控的有害气体和化学物质（如CO、CO2、NOx）。
借助ASG-100，晶圆厂可优化工艺控制并清晰预判潜在影响。用户可根据工艺设备状态判断何时关闭地下系统，从而减少温室气体的高昂消耗。将ASG-100与FabGuard设施监控系统配合使用以安全控制净化系统的用户，通过按需启停净化设备，已实现约50%的燃料节约。
优势
- 保持SEMI S2合规性
- 优化设备运行时间
- 防止有害气体和化学物质释放
- 提高良品率
- 实现跨所有设备类型和平台的统一子工厂控制解决方案
- 显著降低燃料和氧化剂消耗
行业标准合规性
FabGuard ASG-100 故障安全开关已通过认证，符合CE认证及以下标准：
- ISO 12100
- EN ISO 13849-1
- EN ISO 1349-2
- IEC 61010-1
- SEMI S2-0821
- SEMI S10-1117
SEMI S2认证仅在与以下标准组合使用时有效 FabGuard Controller.
功能
- 远程控制的晶圆厂外系统
- 平台无关性
- 与FabGuard软件无缝集成
- 自动故障安全模式
- 多种安装选项
- LED直观报警指示
- 最后报警发生时间戳
- 手动复位按钮（用于报警后手动重置）
适用于以下市场
