过程控制
FabGuard® 控制器
一款功能强大且结构紧凑的解决方案，用于部署FabGuard软件。
FabGuard控制器为部署FabGuard集成工艺监测解决方案提供了强大而紧凑的解决方案。
这些可靠的工业控制器通过FabGuard连接设备和传感器，执行实时数据采集与分析，无论是针对特定腔室的详细分析，还是作为全厂范围统计过程控制和故障检测分类系统的一部分。
FabGuard控制器兼容INFICON传感器及第三方传感器，并支持晶圆厂各类设备。即使面对高速应用的严苛要求，FabGuard高速控制器也能轻松应对。
优势
- 性能强劲，可运行FabGuard系列产品
- 支持INFICON传感器及第三方传感器
- 小巧机身，便于安装
- 高可靠性无风扇工业控制器
- 大容量硬盘，扩展数据存储
- 可选配数据采集板
- INFICON解决方案，助力FabGuard部署
规格
| 类型 | 工业外形规格 | 工业规格 4端口 | 工业规格 6端口 |
| 尺寸 (长) | 22.6 cm (8.9 in.) | 22.6 cm (8.9 in.) | 22.6 cm (8.9 in.) |
| 尺寸 (宽) | 24.1 cm (9.5 in.) | 24.1 cm (9.5 in.) | 24.1 cm (9.5 in.) |
| 尺寸(高) | 9.1 cm (3.6 in.) | 9.1 cm (3.6 in.) | 9.1 cm (3.6 in.) |
| CPU | i5-6500TE | i5-6500TE | i5-6500TE |
| 内存 | 8-32 GB | 8-32 GB | 8-32 GB |
| 硬盘 | 500 GB-1TB | 500 GB-1TB | 1 TB |
| 操作系统 | Windows | Windows | Windows |
| 以太网 | 2 x GbE LAN | 4 x GbE LAN | 6 x GbE LAN |
| 其他/选项 | OPC Server | OPC Server | OPC Server |
