电容式压力计
SKY® CDG025D-X3
全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。高级数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀超纯陶瓷传感器提供优异的零位稳定性（包括气压突变的情况），预期使用寿命长达数百万次压力循环。独有的传感器屏蔽（专利申请中）可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。
好处
- 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
- 电源接通后快速稳定
- 暴露于大气压后快速恢复
- 防腐蚀陶瓷传感器
- 卓越的长期信号稳定性
- 温度补偿
- 传感器受双重防污染保护
- 一键调零功能
- 宽范围电源
- 2个设定点
- RS232 接口
- 无尘室合规
典型应用
- 用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
- 数据存储和显示器制造设备
- 工业真空设备
- 经济、高度精确的压力测量
技术规格
1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.2 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.25 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 130 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.5 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 130 / 30 (3) |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
下载
数据表
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr/mbar Prozessmessröhre DE
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德语
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar process gauge
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英文
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... Calibre de proceso 1000 Torr / mbar
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西班牙语
SKY® CDG025D-X3 0.1 ...1000 Torr / mbar プロセスゲージ JA
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日语
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1,000 Torr/mbar 공정 게이지 KO
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韩语
SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴过程压力真空计 ZH
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中文
手册
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