皮拉尼真空计

PPG550

大气压至中真空真空计

Pirani-PPG570
嵌入式选项

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Gemini™ MxG5xx

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Ionization chamber
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
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None
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FCC, 8-pin
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None
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1.2 - 8.68 V
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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新型 INFICON Pirani /Piezo 组合真空计 (PPG550) 基于目前最先进的 MEMS(微机电系统)传感器技术。 

在MEMS过程中微型化的Pirani/Piezo组合技术,能够构建一个非常小的、从而节省空间的传感器,这使得测量设备的整体高度非常低成为可能。 

除了高度低的优势外,基于MEMS技术的皮拉尼还具有在高压范围内比传统皮拉尼测量更深、更准确的优势。与安装在同一法兰上的MEMS压电传感器相结合,皮拉尼真空计成为一个真正的宽范围真空计,其测量范围远远超过通常的1000mbar,也可延伸到大气压层。同时,MEMS压电传感器提供独立于气体类型的压力测量,范围为2 ...1333毫巴。上述技术的另一个优点是增加了对加速力和振动的抵抗力。 

最后但并非最不重要的是,新的INFICON PPG550可以用来直接取代所谓的MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™-绝对压电真空压力传感器 "以及MKS925 "Micro Pirani™真空压力传感器"。Inficon提供了相同的连接器/引脚分配,模拟输出和RS232/485兼容性。

优势

  • 2mbar以上的气体类型独立--允许任何气体混合物的安全排放 
  • 大气层的高精度和可重复性--用于可靠、快速的大气压力检测 
  • 多种安装方向--为工具设计提供工程自由度 
  • 可选择模拟输出信号,便于系统集成 
  • 数字接口RS232/RS485 
  • 符合标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS 
  • 能够直接替换MKS910 "DualTrans™ MicroPirani™ - Absolute Piezo Vacuum Pressure Transducers" 以及MKS925 "Micro Pirani™ Vacuum Pressure Transducers" 。
  • DualTrans™ MicroPirani™是MKS Instruments, Andover, MA的注册商标。 
  • 合规性和标准。CE, EN, UL, CSA, RoHS

典型应用

  • 在分析设备/质谱仪中使用 
  • 物理气相沉积 
  • 前线测量 
  • 气体回填

规格

测量范围 (N2)mbar1x10-6 … 1333
   
准确度  
100 ... 1333 mbar% of reading0.5
800 ... 1099 mbar% of reading0.25
100 ... 800 mbar% of reading0.5
2 ... 99.9 mbar% of reading1
1 x 10-4 ... 1.99 mbar% of reading5
1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar% of reading25
   
温度补偿°C+10 … +50
   
温度测量的绝对精度°C+/-1.5 (0 … +80)
   
仪表上的电源电压V (dc)+12 … 30
在此下载完整的规格

零件编号

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