电容式压力计
Edge® CDG100D2
100°C温控,满量程1 ... 1000 Torr / mbar

Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节,另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温,并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中最小的真空测量仪器。
好处
- 紧凑型,节省宝贵的工具空间
- 易于集成,各种满刻度、法兰,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- 两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
- 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
- CVD、蚀刻、PVD 及其他半导体生产过程
技术规格
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
精度 | % of reading | 0.15 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 30 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.15 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 30 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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数据表
Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar DE
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Edge® CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar
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Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar JA
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Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar
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西班牙语
手册
Communication protocol EtherCAT new generation
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2,1 MB
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英文
CDGxxxD Communication manual RS232C
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英文
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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德语
Communication protocol EtherCAT
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英文
Gebrauchsanleitung Edge CDG045D2 CDG100D2 DE
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德语
Manual Edge CDG045D2 CDG100D2
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英文
Manual Edge CDG045D2 CDG100D2 CN
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中文
3D Step Files
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CDG100D2_9DSUB_4-VCR male
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CDG100D2_4-VCR male_ECAT_II
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CDG100D2_9DSUB_16CF
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CDG100D2_4-VCR male
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Edge CDGxxxD2 8VCR EtherCAT
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Edge CDGxxxD2 tube
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