4. Edge® CDG100D2
电容式压力计

Edge® CDG100D2

100°C温控，满量程1 ... 1000 Torr / mbar

Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information

You can unsubscribe from these communications at any time. For more information please review our Privacy Policy.

Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!
Back

INFICON Edge 电容膜片式真空计是专为恶劣制造环境设计的极其准确的真空测量仪表。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性，而且具有无与伦比的零位稳定性。Edge 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽，用于保护真空计，使其免受不需要的过程副产品的影响。先进的电子元件能为所有应用提供范围广泛的可配置信号调节，另外还有 EtherCAT 现场总线接口可供选择。创新的加热概念能够使接触表面保持低温，并节约宝贵的工具空间。INFICON Edge 是同类产品中最小的真空测量仪器。

好处

  • 紧凑型，节省宝贵的工具空间
  • 易于集成，各种满刻度、法兰，标配两个设定点
  • 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
  • 诊断端口便于快速服务与维护
  • 两年保修服务，先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
  • 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
  • 合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • CVD、蚀刻、PVD 及其他半导体生产过程

技术规格

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
精度 % of reading0.15
分辨率percent FS0.003
输出信号（模拟）V (dc)0 … +10
反应时间 ms30
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.15
分辨率percent FS0.003
输出信号（模拟）V (dc)0 … +10
反应时间 ms30
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
在此下载完整的规格

下载

手册
Edge_Web
pdf • 2,1 MB • 英文
EtherCAT Brochure
pdf • 1,6 MB • 英文
数据表
Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar DE
pdf • 575,7 KB • 德语
Edge® CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar
pdf • 950,9 KB • 英文
Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar JA
pdf • 733,2 KB • 日语
Edge CDG100D2 1 … 1000Torr/mbar KO
pdf • 621,3 KB • 韩语
Edge CDG100D2 1 … 1000 托 / 毫巴 ZH
pdf • 732,5 KB • 中文
Edge CDG100D2 1 … 1000Torr / mbar
pdf • 616,1 KB • 西班牙语
尺寸图
CDG100D2 dimension drawing
png • 224,7 KB • 德语, 日语, 韩语, 西班牙语, 中文, 英文
手册
Communication protocol EtherCAT new generation
pdf • 2,1 MB • 英文
CDGxxxD Communication manual RS232C
pdf • 187,4 KB • 英文
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
pdf • 188,5 KB • 德语
Communication protocol EtherCAT
pdf • 972,1 KB • 英文
Gebrauchsanleitung Edge CDG045D2 CDG100D2 DE
pdf • 766,1 KB • 德语
Manual Edge CDG045D2 CDG100D2
pdf • 758,2 KB • 英文
Manual Edge CDG045D2 CDG100D2 CN
pdf • 952,7 KB • 中文
3D Step Files
CDG100D2_9DSUB_8-VCR female
stp • 5,4 MB
CDG100D2_9DSUB_4-VCR female
stp • 5,4 MB
CDG100D2_9DSUB_4-VCR male
stp • 5,5 MB
CDG100D2_4-VCR male_ECAT_II
stp • 11,0 MB
CDG100D2_4VCR female_ECAT_II
stp • 1,5 MB
CDG100D2_9DSUB_16KF
stp • 5,4 MB
CDG100D2_9DSUB_16CF
stp • 5,4 MB
CDG100D2_9DSUB_tube
stp • 5,4 MB
CDG100D2_4-VCR female
stp • 2,7 MB
CDG100D2_4-VCR male
stp • 2,8 MB
Edge CDGxxxD2 16KF EtherCAT
stp • 1,4 MB
Edge CDGxxxD2 8VCR EtherCAT
stp • 1,5 MB
Edge CDGxxxD2 tube
zip • 470,5 KB
其他
EtherCAT new generation ESI file CDG V2_0_0_0
zip • 10,5 KB • 日语, 英文
EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0
xml • 1,3 MB • 英文
该产品被用于以下市场
Analytical-Instrumentation-Navi
分析仪器

分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具，涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作，帮助分析和识别最小的结构或元素组成，无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

了解更多
Display-Navi
显示器

INFICON汇聚尖端科技，实现最高质量的显示器产品

了解更多
energy-market-navi
能源

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长，并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

了解更多
Industrial-Manufacturing-Navi-2
工业制造

其中，真空技术大多用于保证清洁的环境，并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

了解更多
Mobility_and_Automotive-Navi
移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试 。 汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

了解更多
Pharma_and_Medical-Navi
医药和医疗

提高生产力，帮助满足制药业的合规标准和质量要求 

了解更多
Research-and-Academia-Navi
研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

了解更多
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器，确保产品安全、提高产量和最高生产力。

了解更多
Vacuum_Coating-Navi
真空镀膜

真空镀膜市场远远超出了光学领域，正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

了解更多
我们需要您的视频内容同意
更多信息