质谱仪
烃类检测器（HCD）
在工业制造环境中检测挥发性有机化合物
实时关键过程监控
将您的制造过程控制提升到一个新的水平，通过INFICON的烃类检测器检测挥发性有机化合物。
我们的宽带、非选择性传感器可在恶劣的工业制造环境中监测关键过程——包括半导体、太阳能、制药或其他真空基过程——并以优异的灵敏度实时检测烃类和硅油。
无论是检测半导体中的光刻胶污染，还是在冻干应用中检测泵油污染，HCD传感器都是用户友好且有效的解决方案。它可无缝集成到现有系统或INFICON FabGuard®软件中。该传感器适用于任何腔室条件，且无需维护泵系统。
优势
- 实时监控
- 定制化传感器操作控制与数据分析
- 通过数据采集实现无缝工具集成与可靠拦截
- 快速简便的传感器安装，最小化工具占用空间
- 低总拥有成本，高投资回报率
规格
| 工作压力范围 | 1 托 - 1 大气压 |
| 检测限 | 基于操作压力，将ppm转换为ppb |
| 工作温度范围 | -25°C 至 180°C |
| 灵敏度（高发射） | > 2E-5 安培/托尔 |
| 安装法兰 | 标准型号FK25；提供定制选项 |
| 可用输入/输出 | 4-20mA，0-10 V 模拟信号，Modbus TCP |
| 紫外光解離法測定污染物濃度 | 10 / 10.6 eV 氪放电 |
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