光学气体分析仪

光学气体分析仪

Quantus® LP100

为关键工艺环境提供实时泄漏检测和端点检测

Quantus® LP100

• 操作范围为10 mTorr至1 Torr
• 优秀的检测限可低至低ppm水平
• 长期的可靠性：不需要泵
• 使用标准的KF25连接，易于安装

产品细节

光学气体分析仪

Augent™ OPG550

INFICON AugentTM 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。

Augent™ OPG550

• 高速检漏，可进行腔体检漏 
• 提高生产率和产量 
• 寿命长，不烧丝，有气涌保护 
• 可承受工艺化学反应 

产品细节