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光学气体分析仪
Quantus® LP100
为关键工艺环境提供实时泄漏检测和端点检测
Quantus® LP100
操作范围为10 mTorr至1 Torr
优秀的检测限可低至低ppm水平
长期的可靠性:不需要泵
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光学气体分析仪
Augent™ OPG550
INFICON AugentTM 光学等离子体真空计是一种紧凑、智能的真空监测解决方案。
Augent™ OPG550
高速检漏,可进行腔体检漏
提高生产率和产量
寿命长,不烧丝,有气涌保护
可承受工艺化学反应
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