팩토리 운영 최적화

Enhanced Tool Performance

진정한 장비 인사이트

Enhanced-tool-performance-for-monitor

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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실행 가능한 이해

장비 상태를 정확하게 추적하는 것은 개선할 수 있는 부분을 파악하는 데 매우 중요합니다. 대부분의 장비 상태 모델은 유지보수 이벤트를 사용하여 가장 기본적인 수준에서만 상태를 기록합니다. 향상된 로직은 수동 유지보수 이벤트, 시작 및 종료 프로세스 이벤트, 사용 가능한 WIP, 처리량을 결합하여 모든 장비의 모든 챔버에서 매초마다 약 100개의 세부 상태 중 하나로 분류합니다. 그 결과 이전에는 불가능했던 상세한 상태 보고가 가능해졌습니다.

ETP_Historical Performance
ETP_Historical Performance

향상된 장비 성능(ETP) 상태 로직은 기존의 E10 장비 중심 데이터와 WIP 상태를 결합하여 기존 보고에서는 볼 수 없었던 팹 운영 손실을 종합적으로 파악할 수 있도록 합니다. OEE 지표 이상으로 장비 사용을 개선할 수 있는 운영 기회를 파악합니다. 기존 장비 상태 모델에서 시작하여 장비 상태, 레시피 자격, WIP 위치 및 기타 여러 요소의 실시간 정보를 결합하여 툴 상태가 인피콘 상태 중 하나로 변경되는 시점을 정확하게 계산합니다. 그 결과 즉시 변화를 가져올 수 있는 영역에 개선 노력을 집중할 수 있는 실행 가능한 개선된 모델이 탄생합니다.

향상된 도구 성능은 독립형 어플리케이션이 아니라 데이터 웨어하우스에 내장된 고유한 개념으로 모든 인피콘 어플리케이션에서 사용할 수 있습니다.

스마트 상태 분석

상태가 변경되면 작업자가 장비를 올바른 상태로 두지 않았거나 상태 모델에 해당 상태가 존재하지 않는 경우 장비가 어떤 상태여야 했는지 정확하게 판단하기 위해 앞뒤를 살펴봅니다.

이를 통해 WIP에 영향을 미치는 효율성 손실뿐만 아니라 유지보수 활동으로 인한 효율성 손실도 확인할 수 있습니다. WIP로 인한 비효율적인 장비 성능과 유지 관리로 인한 다운타임에 대한 가시성이 향상되어 팹 관리자가 조직 전반의 개선을 추진할 수 있는 강력한 도구가 제공됩니다.

ETP Comparison of Equipment State
ETP Comparison of Equipment State

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