HP100 High Pressure SP-OES 제품은 1 ~ 450 Torr의 Process Pressure에서 사용할 수 있는 새로운 SP-OES 제품입니다. 그 동안 10 Torr이상의 압력에서는 사용할 수 없었던 SP-OES의 문제점을 개선한 제품으로 Process Pressure가 높은 CVD, Diffustion, ALD, IMP등의 공정에서 Air Leak Detection, Contamination Monitoring등의 Application으로 활용할 수 있습니다. 이번 Webinar에서는 HP100의 기본 원리, 구성, 그리고 적용 가능한 Application에 대한 소개를 진행 예정입니다. 많은 관심과 참여 부탁 드립니다.
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How to increase efficiency in vacuum leak testing with I·Zero