Thinfilm의 기본 구성요소인 Quartz Crystal Microbalance(QCM) 장비는 우리나라 말로 "수정진동자 미소저울"로 불리는 분석장비로써 전극 사이에 일정한 두께의 수정 결정판을 넣고 전압을 가하면 수정과 전극으로 이루어진 구조의 기계적 공진점에 해당하는 주파수에서 진동하며 발진하는 장치입니다 이러한 내용의 기본 교육과 함께 그것을 측정 제어할 수있는 Cygnus 2 박막 증착 컨트롤러는 OLED 공정을 최대한 활용할 수 있는 고유한 기능들과 INFICON 박막 컨트롤러의 입증된 성능을 결합하여 탁월한 가치를 제공합니다. Cygnus 2는 당사의 ModeLock 주파수 측정 시스템을 사용하여 1/10초마다 0.00433 Å/s이라는 업계 최고 수준의 속도 해상도로 안정적인 고해상도 속도 및 두께 측정을 제공합니다. 이번 교육에서 Cygnus2의 기본 설정방법 및 간단한 문제 해결을 위한 사례, 조치방법에 대해 소개해 드릴예정입니다.
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