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Selective Etch
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利用残余气体分析优化选择性蚀刻工艺

先进的封装技术不仅能使芯片更小、更高效,还能实现功能更强大、用途更广泛的系统。

FabGuard preview
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实施用于监控的 FabGuard® EPI

INFICON 的 FabGuard® FDC 提供智能监控和通知系统,旨在确保清洁配方按时执行。

晶圆厂计算机在 FabTime 中显示已发货批次周期时间详情图表的示例
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订阅者讨论论坛:FabTime简讯,第26卷,第3期

我们与用户讨论了如何估算工艺时间的可变性,以及了解提高工厂自动化程度的影响。

两名设备工程师在工厂会议室观看显示器上的 FabTime 工具状态甘特图。
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工具可用性是什么意思?

寻求工具可用性的明确定义,以满足晶圆厂的各种使用情况。

晶圆厂计算机在 FabTime 中显示已发货批次周期时间详情图表的示例
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工厂为何以及如何关注CT改进

本文将讨论为什么良好的周期时间对半导体晶圆厂非常重要,为什么良好的周期时间难以实现,以及晶圆厂经理应该如何从高层次改善周期时间。 我们认为,要改善晶圆厂的生产周期,必须三管齐下。

两名设备工程师在工厂会议室观看显示器上的 FabTime 工具状态甘特图。
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晶圆厂的瓦丁顿效应

正如我们一直推荐的 减轻停机对工厂周期时间影响的指标,我们一直在思考瓦丁顿效应(The Waddington Effect)的影响。由作者 James P. Ignizio 命名和推广的 “瓦丁顿效应 ”是基于二战时期对英国皇家空军 B-24 型解放者轰炸机的维护研究。

Metrology Sampling Dashboard
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计量抽样的演变

计量抽样优化器(MSO)旨在使用时间或百分比规则来处理基准计量抽样。除了基准抽样外,还可以配置规则来处理基于事件的抽样。

Diffusion WIP States
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增强的周期时间

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