实施用于监控的 FabGuard® EPI
INFICON 的 FabGuard® FDC 提供智能监控和通知系统，旨在确保清洁配方按时执行。
INFICON 的 FabGuard® FDC 提供智能监控和通知系统，旨在确保按时执行清洁配方。通过利用设备性能指标 (EPI) 和自动报告，工程师只需最少的人工干预即可保持精确的过程控制。
FabGuard 通过事件检测系统跟踪清洁配方的执行情况。当清洁配方启动时，工具事件 CEID（收集事件标识）就会触发，而可视的 “自事件发生以来的时间 ”可通过跟踪执行间隔来帮助识别任何异常情况。
通过 EPI 定时器，工程师可以监控自上次执行清洁配方以来的时间。系统包括一个逻辑过滤器，确保计时器只跟踪相关配方，同时在停止计时器前验证执行状态。这种方法可确保准确记录流程。
为了满足特定配方跟踪的需要，FabGuard 会捕获配方 ID 并引入 3 秒钟的短暂延迟，以区分启动和停止事件，从而减少误报。按配方名称过滤可确保只报告相关的清洁配方。
生成自定义报告以跟踪配方执行时间，并在配方在 12 小时内未运行时触发自动警报。模拟警报可为工程师提供实时见解，使他们能够在晶圆处理开始前进行干预并防止问题发生。
影响： 改进过程控制和可靠性
只需配置三个 EPI 触发器和一份报告，FabGuard 即可帮助工厂实现以下目标
- 防止在非预期条件下处理晶片，减少废品和产量损失。
- 最大限度地减少过程变异和工具故障，从而提高腔室性能。.
- 实现自动化监控，减少人工监督需求，确保腔室始终如一地运行。
这种方法通过最大限度地减少意外偏差，提高了工艺可靠性，有助于保持半导体制造的稳定性。
利用 FabGuard 优化半导体制造过程
在快节奏的半导体制造领域，及早发现腔室不一致对于保持高产量和稳定的流程至关重要。借助 FabGuard 的 EPI 系统，工厂可以轻松监控清洁配方的执行情况，接收自动警报，并在问题升级之前迅速采取行动。利用 FabGuard 优化半导体制造
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