Transpector® CPX介绍：业界领先的性能和可靠性
在半导体行业，性能和精度是最重要的。许多制造工艺缺乏像 RGA 这样的现场在线工艺监控能力，无法实时了解工艺和腔室条件。因此，他们面临着计划外停机、结果不一致以及对长期可靠性的担忧。
INFICON Transpector® CPX 残余气体分析仪 (RGA) 专为应对半导体制造商面临的现代挑战而设计。通过提供实时、可靠、可操作的过程和腔室数据，工具和过程所有者可以做出有意义的决策，最大限度地提高产量和过程良率。
有了 Transpector CPX，半成品工厂就不必再依赖无法提供必要洞察力的现有系统了。以下是该解决方案改变游戏规则的四种方式：
- 速度和灵敏度： Transpector CPX 具有业界领先的测量速度和灵敏度，可监控要求沉积极薄且均匀薄膜的原子层过程，并检测任何不希望出现的差异。
- 实时数据准确性： 自动校准可确保数据的长期可靠性，无论环境如何变化，也无论工具与工具之间是否存在差异，都能保证过程监控的准确性。
- 节省空间的设计： 与前几代产品相比，Transpector CPX 的系统体积缩小了 30%，可无缝集成到空间有限的环境中，而不会影响性能。
- 灵活性和多功能性： 可配置的 HexBlock 入口允许多达三个压力入口，以适应各种应用，无论您是要监控高压过程，还是需要灵活地进行复杂设置。
通过集成 Transpector CPX 等原位在线过程监控系统，半导体制造商可以确保更一致、更可预测的结果，提高运营效率，并减少代价高昂的停机时间。掌控您的生产线，避免代价高昂的错误，在竞争中保持领先。