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《FabTime》通讯，第27卷，第2期

在某客户现场，一位维护经理提出了一个新的指标：计划停机时间 / (计划停机时间 + 非计划停机时间)。其目标是将该指标提升至100%。当分母为零时，该指标将显示为100%。

这一尚未命名的指标似乎与M-Ratio相似，后者（在半导体行业中的用法）是指计划停机时间与非计划停机时间的比率。较高的M-Ratio（≥4.0）被视为理想状态，这意味着大多数停机时间属于预防性维护而非非计划停机。

随着非计划停机时间变得非常短，M-Ratio 趋近于无穷大。客户提出的计划维护比率似乎更便于持续跟踪，因为该指标要求达到 100%，而非“某个较大数值（理想情况下应大于 4）”。

我们正在考虑将新的“计划停机时间/总停机时间”指标和“M-Ratio”作为列，添加到FabTime中的“设备状态”趋势图和帕累托图中。这样，最终用户就可以通过FabTime中的“编辑图表”功能，快速创建图表来跟踪这些指标。

您认为这个新的“计划停机时间与总停机时间之比”指标是否有用？我们正在考虑采用PM-Ratio。您更倾向于使用这个新的PM-Ratio，还是M-Ratio，抑或两者兼用？

FabTime 中每个图表关联的 AG-Grid 数据表提供了一组强大的值，可用于对图表上显示的数据进行排序或筛选。在某些情况下，特别是当客户拥有大量自定义属性时，这些数据表可能包含数十个列。尽管 AG-Grid 具备相当丰富的原生功能，但我们仍想分享一个快速技巧，该技巧由我们最近退休且令人十分怀念的客户成功项目经理 Elaine Jacobson 提供，用于查找感兴趣的列。只需像在任何网页上一样，使用 Windows 的 Ctrl+F 快捷键即可搜索目标内容。

例如，假设您正在查看一个“在制品批次列表”图表，并希望按“路线家族”进行排序。只需快速按下 Ctrl+F 并搜索“route f”，浏览器就会高亮显示“路线家族”列，如下图所示。然后，您可以单击该列的标题来按该列排序。

您还可以根据数据表和/或显示的图表轴标签中的值进行搜索。在上例中，我们可以搜索“批次 ID”或“保留代码”。我们希望 FabTime 软件用户能觉得这个技巧很有用。

晶圆厂经理们的一个共同目标是实现相对平衡的生产线。这并不是说每台设备在任何时候都需要等待相同数量的在制品。通常会有几台瓶颈设备，其平均在制品量会较高。准确地说，在稳态下，生产线平衡的目标是让在制品在整个工艺流程中均匀分布，而不是集中在流程的前期或后期步骤。当然，我们也希望避免所有在制品都集中在某一种设备上，但同时也接受某些瓶颈设备比其他设备承载更多的在制品。

要在 FabTime 中生成生产线平衡图，请从“在制品帕累托图”或“在制品堆叠帕累托图”开始。无论选择哪种图表，请将“切片”变量设置为贵晶圆厂用于将工艺流程划分为线性步骤组的属性。该属性可能被称为“段”、“设施段”、“子段”、“路线段”或贵厂选定的其他名称。其核心思想是，代表每一列的“桶”应包含数量大致相等的步骤。通常，以周为单位的“桶”被用作“段”，并可选配更小的“子段”桶。根据贵厂实际情况，可考虑按工艺流程对该图表进行筛选，或排除某些类型的在制品（如监测样品、工程批次等）。

如果您使用的是在制品（WIP）堆叠帕累托图，还可以选择一个有意义的“交叉”变量进行堆叠。在制品状态、产品系列和模块是常用的选项。

您还可以选择使用图表下方“格式”部分中的“条纹”选项，添加一条代表所有包含分段平均在制品（WIP）的线。如果各分段完全平衡，这条线所显示的即为各分段的在制品（WIP）情况。下图按在制品状态堆叠显示了一个示例。我们可以看到，第 4 和第 6 分段存在过剩的 WIP，而第 5 分段则处于资源短缺状态。条纹值是通过将总 WIP（显示在图表标题中）除以九（分段数量）计算得出的。

在分析生产线平衡时，您通常使用哪些分类来表示X轴？贵厂在查看该图表时，通常按哪些标准进行分组或筛选？

一位订阅者兼循环时间课程学员来信称，其所在组织内部就“开放式工单循环时间”的正确定义存在争议。该单位正在考虑的可能定义包括：

• 从一个已标识的步骤到达另一个后续已标识步骤所需的时间。例如，从步骤 1500.1200 到达 3001.1000 所需的时间，这可能代表一个特定的模块。
• 在特定时间段内完成的步数。例如，从2026年1月1日至2026年1月15日期间完成了多少步。
• 对于开放批次DPML的计算，应计算一段时间内所有批次已完成掩模层数的平均值。
• 而人工智能聊天引擎提供的最新信息是：特定批次从进入生产线到出厂所需的时间，其中不包括所有等待时间。

Jennifer 的回复：在我们的 FabTime 报告模块 中，开放批次周期时间定义如下：

1. 提取所有符合筛选条件且批次已开始的记录。
2. 计算当前工厂年龄 = 当前时间 - 工厂开始时间。
3. 根据 RTG_ROUTE_STEPS_PLUS.TARGET_STEP_SEC_TO_EOL 计算剩余计划周期时间 
   1. 如果该批次当前处于暂停或返工状态，则查找最后一条非返工记录。 
   2. 如果未找到该步骤，或者该步骤的时间早于开始时间，则将该批次从列表中移除
4. 计算开放工单周期时间 = （从开始到上次移动的耗时）+ 剩余计划周期时间。

这本质上是当前循环时间加上剩余计划循环时间的总和，先针对每个批次分别计算，然后根据需要进行汇总。在FabTime中，基于当前性能估算未来循环时间的其他指标还包括动态循环时间（DCT）和动态X因子（DXF）。关于DCT和DXF的定义，请参阅《前瞻性循环时间指标》（第24.03期）。

在我们的 FPS 循环时间分析器 中，开放批次（又称动态）循环时间的计算方式有所不同。对于每个路线步骤，我们会根据所选时间段内该路线步骤组合的移动次数，计算加权平均循环时间。对于给定的路线，会将该路线所有步骤的计算结果进行求和。针对工厂，我们会计算跨路线的加权平均值。如果路线-步骤层面的操作完成量不足，则会采用填充逻辑。

这些方法各有其优势，适用于不同的目的。读者们，你们的工厂是如何定义“开放批次周转时间”的？

在讨论未结订单周转时间指标时，上述客户就动态X因子发表了以下评论：

“我发现动态X因子对我们来说并不是一个有洞察力的指标，因为它与生产率的提升关联性不强。我认为这是因为我们可用的在制品数量不稳定。当待处理量较高时，动态X因子（DXF）也会较高，因为需要追踪的在制品不多。但此时设备装载量却较低，同样是因为在制品数量不多。我们发现，实际装载的晶圆数量比DXF更能作为有效的衡量指标。”

Jennifer 的回复： 最近在某客户现场出现了这个问题，该客户当前在产在制（WIP）的数量较低。 如果设备上在产在制的数量频繁降至极低水平，这将导致 DXF 计算值出现剧烈波动（DXF = 总在产在制量 / 当前设备上在产在制的数量）。在我看来，在这种情况下，使用装载的晶圆总数而非DXF指标似乎更为合理。虽然装载的晶圆总数无法预判周期时间，但能反映晶圆厂在保持设备满负荷运转方面的表现。当然，如果晶圆厂在换班时段未能有效维持设备运转，该指标在换班时会相应下降。是否有其他订阅者愿意分享使用DXF或其他前瞻性周期时间指标的实际经验？  

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• 第27卷第2期主文章：《装夹时间、刀具认证与循环时间》