传感器和馈入件

ALD 传感器

在 ALD 应用中实现最佳准确度、正常运行时间和最少维护

INFICON ALD 传感器将石英晶体微天平（QCM）测量的可重复性、精确性和耐用性带入原子层沉积 (ALD)。ALD 传感器可承受高达 450ºC 的高温，设计在严苛的 ALD 应用环境中运行。裸露的晶体电极完全接地以有效地消除与电干扰有关的任何潜在问题。

专为 ALD 而设计

INFICON ALD 传感器特有的一种功能是导气管，通过它可使用惰性气体吹扫晶体和传感器后侧，通常使用氮气。这可防止反应室的气体进入传感器头，并确保晶体背面和电气触点无沉积材料。这种技术可在不适合使用标准 QCM 的系统中实现现场测量。

馈入件和馈入件连接

INFICON ALD 传感器可采用自定义焊接长度，也可采用长度可调的压缩接头而无需铜焊或焊接。所有配置都使用 2 ¾in. (CF40) ConFlat® 法兰馈入件。

高温晶体实现更准确的测量

与 INFICON 的新型高温石英晶体结合使用时，INFICON ALD 传感器可在高温应用中达到最佳测量精度和较低的频率噪声。这些高温晶体针对 120、240 和 285°C 应用进行了优化，因此您总能获得适合自己应用的正确晶体。也可提供针对其他温度优化过的晶体。请根据自己的需求联系 INFICON。

功能

工作温度高达 450°C
气体吹扫管路可防止晶体背面出现沉积材料
焊接式 Conflat 法兰 (CF40) 选件
O 形密封环压缩接头选件
提供高温晶体

好处

与大多数 ALD 过程温度兼容
明显减少维护工作
最大化系统运行时间
最大化测量精度
在高过程温度下可获得低噪声的稳定读数

典型应用

原子层沉积 (ALD)

附件

Accessories

Consumables

Part Number	Description
750-1058-G10	120° C optimized crystals, 6 MHz, 14 mm (0.55 in.), gold, pack of 10
750-1059-G10	240° C optimized crystals, 6 MHz, 14 mm (0.55 in.), gold, pack of 10
750-1060-G10	285° C optimized crystals, 6 MHz, 14 mm (0.55 in.), gold, pack of 10

Name	Description
Quartz Monitor Crystals	Quartz Monitor Crystals

Spare Parts

Part Number	Description
007-007	Retainer spring (for crystal holder)
007-064	Ceramic retainer
007-094	Clamping spring
007-095	Handle
007-098	Female Connector (includes ferrules and nut)
007-099	Bakeable head contact
007-100	Insulator for BNC
007-103	Insulator for bakeable head contact
007-104	BNC Body
007-147	#4-40 X 3/8 screw
007-228	#4-40 X 5/8 screw
007-267-P2	Spreader bar
007-268-P1	Shoulder washer
007-269-P1	Shoulder washer
070-201	#4 Split lockwasher
084-069-P1	#4-40 x 3/16 screw
750-018-P3	Split clamp
750-018-P5	Split clamp
750-218-G1	Cyrstal holder