真空馈通及更多
旋转/直线运动馈入装置
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验！
INFICON 的各种机械馈入装置为所有苛刻的应用提供了正确的设备，无论它是否适用于此，比如：在涂层应用室或实验室条件下的应用研究项目。
可用法兰设计 ISO-KF/ISO-K 和 CF 与我们的接头管对应。所有馈入件都适合用于泄漏速率不超过 1 x 10-9 mbar•l/s 的真空系统。对于 UHV，还可提供全金属设计的馈入件。
好处
- 两个 FPM 轴密封件
- 直接推/拉和旋转启动
- 配备有锁环和可选防转装置
- 符合 2011/65/EU RoHS 标准
规格
FCH016-H
FCH025-H
FCH040-H
| 真空连接 | DN16 ISO-KF | |
| 馈通/密封 | FPM | |
| 轴连接 | M3/Ø5mm | |
| 行程 | mm | 50 |
| 轴负载 | ||
| 最大行程时的径向力 | N | 10 |
| 扭矩 | Nm | 2 |
| 密封性，静态 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 压力（绝对值） | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
| 操作温度 | °C | 50 |
| 烘烤温度 | °C | 110 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304/1.4301, 铝 6082 | |
重量
| kg | 0.1 |
| 真空连接 | DN25 ISO-KF | |
| 馈通/密封 | FPM | |
| 轴连接 | M4/Ø8mm | |
| 行程 | mm | 100 |
| 轴负载 | ||
| 最大行程时的径向力 | N | 15 |
| 扭矩 | Nm | 8 |
| 密封性，静态 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 压力（绝对值） | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
| 操作温度 | °C | 50 |
| 烘烤温度 | °C | 110 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304/1.4301, 铝 6082 | |
重量
| kg | 0.2 |
| 真空连接 | DN40 ISO-KF | |
| 馈通/密封 | FPM | |
| 轴连接 | M6/Ø12mm | |
| 行程 | mm | 150 |
| 轴负载 | ||
| 最大行程时的径向力 | N | 30 |
| 扭矩 | Nm | 20 |
| 密封性，静态 | mbar•l/s | 1 x 10-9 |
| 压力（绝对值） | 1 x 10-8 mbar...1bar | |
| 操作温度 | °C | 50 |
| 烘烤温度 | °C | 110 |
| 暴露在加工介质中的材料 | 不锈钢 304/1.4301, 铝 6082 | |
重量
| kg | 0.3 |
零件编号
| 零件编号 | 描述 |
| FCH016-H | |
| 214-320 | Rotary/linear feedthrough, DN16 ISO-KF |
| 214-072 | Anti-rotation device, DN16 ISO-KF |
| FCH025-H | |
| 214-322 | Rotary/linear feedthrough, DN25 ISO-KF |
| 214-073 | Anti-rotation device, DN25 ISO-KF |
| FCH040-H | |
| 214-324 | Rotary/linear feedthrough, DN40 ISO-KF |
| 214-074 | Anti-rotation device, DN40 ISO-KF |
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Dreh-/Schiebedurchführungen ISO-KF DE
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Rotary/Linear Motion Feedthroughs ISO-KF EN
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Terminales de paso de movimiento lineal/giratorio ISO-KF ES
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回転式/直線状モーションフィードスルー ISO-KF JA
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로터리/선형 동작 피드스루 ISO-KF KO
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旋转/直线运动馈入装置 ISO-KF ZH
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