电容式压力计
SKY® CDG200D
200°C温控，满量程1 ... 1000 Torr / mbar
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON SKY CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG200D 真空计温度控制在 200 °C，具有卓越的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越，极具成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
好处
- 拥有成本更低，预热速度快 50%，节能，低功耗
- 易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令，可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 卓越的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子应用，都无需长期执行重新校准
- 合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
- 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
- 化学和腐蚀性高温过程
- 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
技术规格
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
| 精度 | % of reading | 0.4 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
| 精度 | % of reading | 0.4 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 |
| 输出信号（模拟） | V (dc) | 0 … +10 |
| 反应时间 | ms | 30 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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数据表
CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar DE
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SKY® CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar
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CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar KO
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西班牙语
CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar ZH
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中文
手册
Communication protocol EtherCAT new generation
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2,1 MB
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英文
Gebrauchsanleitung CDG160D CDG200D DE
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804,4 KB
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德语
CDG160D, CDG200D - Gebrauchsanleitung current loop (DE)
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1,1 MB
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德语
CDG160D, CDG200D - manual
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英文
CDG160D, CDG200D - manual current loop (EN)
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1,1 MB
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英文
CDG160D, CDG200D manual
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中文
CDGxxxD Communication manual RS232C
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英文
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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188,5 KB
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德语
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
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英文
Communication protocol EtherCAT
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972,1 KB
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英文
Communication protocol Profibus
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英文
3D Step Files
CDG200D_9DSUB_tube
stp
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CDG200D_9DSUB_4VCR male
stp
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3,1 MB
CDG200D_9DSUB_4VCR female
stp
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3,0 MB
CDG200D_9DSUB_8VCRf
stp
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2,1 MB
CDG200D_9DSUB_8VCR long
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3,0 MB
CDG200D_8-VCR female long_P-Net
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CDG200D_4-VCR male_ECAT_II
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5,7 MB
CDG200D_8-VCR female_long_ECAT_II
stp
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5,6 MB
CDG200D_9DSUB_16KF
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2,9 MB
CDG200D_9DSUB_16CF
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3,0 MB
CDG200D_4-VCR male_D-Net
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5,1 MB
CDG200D_8-VCR female long_D-Net
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5,0 MB
CDG200D_4-VCR male_P-Bus
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5,0 MB
CDG200D_4-VCR female_P-Bus
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4,9 MB
CDG200D_8-VCR female long_P-Bus
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4,9 MB
CDG200D_16KF_P-Net
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CDG200D_16CF_P-Net
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CDG200D_tube_P-Net
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CDG200D_4-VCR male_P-Net
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CDG200D_4-VCR female_P-Net
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CDG200D_8-VCR female_P-Net
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CDG160, CDG200D 4VRC female
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CDG160D, CDG200 4VCR male
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CDG160D, CDG200D 16KF
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CDG160D, CDG200D 16CF
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CDG160D, CDG200D 16CF D-Net
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CDG160D, CDG200D 16CF ECAT
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1,8 MB
CDG160D, CDG200D 16CF P-Bus
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CDG160D, CDG200D 16KF D-Net
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CDG160D, CDG200D 16KF ECAT
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CDG160D, CDG200D 16KF P-Bus
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CDG160D, CDG200D 4VCR D-Net
zip
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CDG160D, CDG200D 8VCR D-Net
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CDG160D, CDG200D 8VCR ECAT
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CDG160D, CDG200D 8VCR female
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CDG160D, CDG200D 8VCR female long
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CDG160D, CDG200D 8VCR P-Bus
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CDG160D, CDG200D tube
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CDG160D, CDG200D tube D-Net
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CDG160D, CDG200D tube ECAT
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CDG160D, CDG200D tube P-Bus
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