电容式压力计

SKY® CDG160D

160°C 温控,满量程 1 ... 1000 Torr / mbar

SKY-CDG-100D-160D-200D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

好处

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
  • 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
  • 诊断端口便于快速服务与维护
  • 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命
  • 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
  • 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
  • 化学和腐蚀性高温过程
  • 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

技术规格

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
精度 % of reading0.4
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms30
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.4
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms30
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
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3D Step Files
CDG160D_16KF_ECAT_II
stp 1,3 MB
CDG160D_16CF_ECAT_II
stp 1,4 MB
CDG160D_tube_ECAT_II
stp 1,3 MB
CDG160D_9DSUB_16CF
stp 3,0 MB
CDG160D_9DSUB_4VCR male
stp 3,1 MB
CDG160D_9DSUB_4VCR female
stp 3,0 MB
CDG160D_9DSUB_8VCRf
stp 2,1 MB
CDG160D_9DSUB_8VCR long
stp 3,0 MB
CDG160D_4-VCR female_P-Bus
stp 4,9 MB
CDG160D_8-VCR female long_P-Bus
stp 4,9 MB
CDG160D_16KF_P-Net
stp 1,7 MB
CDG160D_tube_P-Net
stp 1,7 MB
CDG160D_4-VCR male_P-Net
stp 2,0 MB
CDG160D_4-VCR female_P-Net
stp 1,9 MB
CDG160D_4-VCR male_D-Net
stp 5,1 MB
CDG160D_8-VCR female long_D-Net
stp 5,0 MB
CDG160D_4-VCR male_P-Bus
stp 5,0 MB
CDG160D_8-VCR female_P-Net
stp 1,7 MB
CDG160D_8-VCR female long_P-Net
stp 1,9 MB
CDG160D_4-VCR male_ECAT_II
stp 5,7 MB
CDG160D_8-VCR female_long_ECAT_II
stp 5,6 MB
CDG160D_9DSUB_16KF
stp 2,9 MB
CDG160, CDG200D 4VRC female
zip 258,0 KB
CDG160D, CDG200 4VCR male
zip 277,6 KB
CDG160D, CDG200D 16KF
zip 146,5 KB
CDG160D, CDG200D 16CF
zip 151,3 KB
CDG160D, CDG200D 16CF D-Net
zip 179,1 KB
CDG160D, CDG200D 16CF ECAT
stp 1,8 MB
CDG160D, CDG200D 16CF P-Bus
zip 177,9 KB
CDG160D, CDG200D 4VCR D-Net
zip 302,3 KB
CDG160D, CDG200D 8VCR D-Net
zip 185,0 KB
CDG160D, CDG200D 8VCR ECAT
zip 213,6 KB
CDG160D, CDG200D 8VCR female
zip 156,2 KB
CDG160D, CDG200D 8VCR female long
zip 259,4 KB
CDG160D, CDG200D 8VCR P-Bus
zip 182,8 KB
CDG160D, CDG200D tube
zip 146,0 KB
CDG160D, CDG200D tube D-Net
zip 175,2 KB
CDG160D, CDG200D tube ECAT
stp 1,3 MB
CDG160D, CDG200D tube P-Bus
zip 173,7 KB
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