电容式压力计
SKY® CDG160D
160°C 温控,满量程 1 ... 1000 Torr / mbar
嵌入式选项
与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
好处
- 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
- 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
- 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
- 诊断端口便于快速服务与维护
- 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命
- 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
- 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型应用
- 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
- 化学和腐蚀性高温过程
- 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
技术规格
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
精度 | % of reading | 0.4 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 30 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
精度 | % of reading | 0.4 |
分辨率 | percent FS | 0.003 |
输出信号(模拟) | V (dc) | 0 … +10 |
反应时间 | ms | 30 |
暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L) |
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手册
数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar DE
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SKY® CDG160D CDG200D Datasheet
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CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
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CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar JA
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CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar KO
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数据表
CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar ZH
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数据表
手册
Gebrauchsanleitung CDG160D CDG200D DE
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德语
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操作手册
SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol
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英文
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操作手册
CDG160D, CDG200D - Gebrauchsanleitung current loop (DE)
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德语
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操作手册
CDG160D, CDG200D - manual
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英文
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操作手册
CDG160D, CDG200D - manual current loop (EN)
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英文
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操作手册
CDG160D, CDG200D manual
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1,4 MB
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中文
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操作手册
CDGxxxD Communication manual RS232C
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英文
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操作手册
CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C
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操作手册
Communication Protocol - DeviceNet - CDG045D-200D EN
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英文
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操作手册
Communication protocol EtherCAT
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英文
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操作手册
Communication protocol PROFIBUS
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操作手册
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SKY® CDG160D 3D 16KF E-CAT
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SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f 9DSUB
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SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f 9DSUB
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SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m 9DSUB
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SKY® CDG160D 3D 16KF 9DSUB
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SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m E-CAT
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SKY® CDG160D 3D 8-VCR-f P-NET
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SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-NET
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SKY® CDG160D 3D Tube P-NET
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SKY® CDG160D 3D 16KF P-NET
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SKY® CDG160D 3D 4-VCR-f P-BUS
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SKY® CDG160D 3D 4-VCR-m P-BUS
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