电容式压力计

SKY® CDG045D

45°C温控,满量程0.05 ... 1000 Torr / mbar

SKY-CDG045D---45C
嵌入式选项

与我们一起彻底改变您的真空计使用体验!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON SKY CDG045D 压力计是实现高精确总压测量与控制的理想之选。CDG045D 真空计温度控制在 45 °C,具有卓越的信号稳定性和可重复性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的真空应用。

好处

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
  • 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
  • 诊断端口便于快速服务与维护
  • 两年保修服务,先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命
  • 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
  • 合规性和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
  • 化学和腐蚀性真空过程
  • 一般薄膜和真空过程
  • 作为基准仪器监控测试仪器是否符合国际标准
  • 符合传递标准,确保测量可追溯性

技术规格

1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.05 Torr / mbar
精度 % of reading0.15
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms30
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.15
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms30
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.15
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms130 / 30 
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
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