质谱仪

QMG 700

以卓越的稳定性和精细的分辨率超越检测极限

QMG 700 已停产。

即将推出!                          

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QMG700

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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半导体制造技术中的快速进步依赖敏捷而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中,选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测障碍并促使您的过程进入更高层次的创新。QMG 700 的模块化设计带来无与伦比的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势,获得出众的测量能力。

从多样化的离子源、滤质器和射频电源选项中选择适当的方案,以根据具体的应用量身定制 QMG 700。QMG 700 对超过九个数量级的动态量程和 ppb 检测限制引以为豪,这种特性使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 可提供涵盖整个质量范围的单位分辨率,对于较低的质量甚至可获得更高的分辨率。该仪器是最具挑战性的测量应用的极好选择,包括同位素分析,例如氦和氘分离。通过 QMG 700 控制您的过程,并依靠其出色的长期稳定性来保护关键测量。

INFICON 在分析质谱仪领域拥有四十多年卓越的历史,可确保 QMG 700 成为下一代气体分析投资的正确选择。为了获得一致的精度和精确的结果,您可信赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长。

功能

  • 质量范围选择从1-512 amu
  • 超过9个量级的动态范围
  • 极快的测量速度:0.125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • 整个质量范围内分辨率高。质量1、2和3在ppb范围内可清晰分离
  • 多种不同的离子源选择
  • 分立或连续动态电子倍增器选项
  • IO选项:8个模拟输入/输出和32个数字输入/输出
  • 功能强大的软件,界面灵活,用户友好

典型应用

  • 气体排放质谱仪
  • 终点检测
  • 沉积材料监控
  • 二次离子质谱仪

技术规格

QMA 400
QMA 410
QMA 430
质量范围1-512 amu (1)
传感器长度441.5 mm
杆直径8 mm
杆材料
法兰DN 63 CF-F
检测器类型法拉第/SEV 217
最大工作压力 (FC)1 E-4 mbar
最大工作压力 (EM)1 E-5 mbar
灵敏度5 E-4 A/mbar
最小可检测分压1 E-15 mbar
分辨率(可调)0.3 - 7 amu
分压比< 0.5 ppb
最高工作温度传感器150 °C
最高烘烤温度400 °C
最高工作温度电子元件40 °C
测量速度0.125 ms - 60 s/amu
电源100 - 240 VAC

(1) QMA 400 可用于质量范围:1-512 amu。         
 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置 。              
(2) QMA 410 可用于质量范围:1-128 amu。
QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。
质量范围1-340 amu (2)
传感器长度548 mm
杆直径16 mm
杆材料
法兰DN 100 CF-F
检测器类型法拉第/SEV 217
最大工作压力 (FC)1 E-4 mbar
最大工作压力 (EM)1 E-5 mbar
灵敏度1 E -3 A/mbar
最小可检测分压5 E-16 mbar
分辨率(可调)0.2 - 2.2 amu
分压比< 0.5 ppb
最高工作温度传感器150 °C
最高烘烤温度400 °C
最高工作温度电子元件40 °C
测量速度0.125 ms - 60 s/amu
电源100 - 240 VAC

(1) QMA 400 可用于质量范围:1-512 amu。         
 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置 。              
(2) QMA 410 可用于质量范围:1-128 amu。
QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。
质量范围1-300 amu
传感器长度441.5 mm
杆直径8 mm
杆材料不锈钢
法兰DN 63 CF-F
检测器类型法拉第/SEV 217
最大工作压力 (FC)1 E-4 mbar
最大工作压力 (EM)1 E-5 mbar
灵敏度2 E-4 A/mbar
最小可检测分压1 E-15 mbar
分辨率(可调)0.3 - 7 amu
分压比< 0.5 ppb
最高工作温度传感器150 °C
最高烘烤温度400 °C
最高工作温度电子元件40 °C
测量速度0.125 ms - 60 s/amu
电源100 - 240 VAC

(1) QMA 400 可用于质量范围:1-512 amu。         
 QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置 。              
(2) QMA 410 可用于质量范围:1-128 amu。
QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置。

零件号

QMA 400
QMA 410
QMA 430
490-715带有网格离子源的QMA 400
450-119盖板的位置,DMM的规格。
490-601用于PPM 422标准的QMA 400
490-700带有轴向离子源的QMA 400
490-701带横梁的QMA400
490-702QMA 400, SEM 217, 横梁, Yt
490-810带有轴向离子源的QMA 410
490-812QMA 410,16mm Mo,217, W, CB-GT
490-817QMA 410,SEM 217,横梁,Yt
490-821QMA 410四联分析器
490-830QMA 410 mit CB-IQ mit Magn.,SEV218
490-901QMA 430 mit CB-IQ, Faraday
490-910QMA 430,带轴向IQ,90° SEV217
490-913带有网格离子源的QMA 430
490-914QMA 430网格离子源,真空退火
490-916QMA 430,CB-IQ,不含SEV217
490-917带CB离子源的QMA 430,气密性好
490-918QMA 430,CB离子源,不含SEV217
490-943QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT
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