氦气 泄漏检测器

UL3000 Fab Series

ULTRATEST ™ 传感器技术

UL3000-Fab-ULTRA

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!

专门为半导体应用中的检漏需求而设计。

它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速和精确的测试结果以及可靠性。

  • 由于更高的空气泵送速度,更快的泵降(排空)时间。
  • 由于低维护的根部粗加工泵,总拥有成本(TCO)更低。
  • 由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景,更早地开始检漏,使得快速达到敏感测量范围成为可能
  • UL3000 Fab ULTRA还通过使用成熟的吸污管线SL3000提供了改进的吸污能力,该吸污管线长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口,因此不需要连接到真空入口。


快速的结果

改进后的真空系统带有低维护的真空泵,可以从大气压开始检测泄漏。坚固的质谱仪系统确保了长时间的运行和低维护成本。

 

可旋转的显示器和可远程控制的用户接口

新的触摸屏显示,即使在远距离也能显示测试结果和状态信息。通过用户指导的菜单结构,即使是没有经验的操作员也能轻松操作。通过智能手机或平板电脑可以对UL3000 Fab(ULTRA)进行无线控制--无需特殊软件或Apps。通过按钮记录和存储测试结果,可以传输到其他存储介质,以便进一步分析。

 

纤细的设计,先进的可操作性

低重心、大轮子、符合人体工程学设计的手柄和纤细的外壳使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狭小的空间也有良好的移动性。 

优势

  • 采用I-CAL软件算法,在10-9至10-12mbar-l/s范围内快速测量,节省时间
  • 使用I-ZERO 2.0进行最有效的检漏,其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制
  • 适用于真空和嗅探检漏
  • 通过快速排空和响应时间,最大限度地减少检漏工作
  • 纤细的设计,易于操作,节省时间
  • 坚固的离子源(3年保修)和逆流真空系统使总拥有成本(TCO)较低 
    逆流式真空系统
  • 易于使用,由操作员指导的人机界面,带有全彩高分辨率可旋转显示器
    UL3000 Fab ULTRA:由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景,使其有可能迅速达到敏感的测量范围,从而更早开始检漏。
  • UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空气泵送速度,更快的泵降(排空)时间 
    根部泵的速度更快
  • UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低维护率,总拥有成本(TCO)更低。粗加工泵。
  • UL3000 Fab ULTRA:通过使用久经考验的吸污管线SL3000,该检漏仪还提供了改进的吸污能力,其长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口,因此不需要连接到真空入口。

典型应用

  • 半导体工厂
  • 平板显示器制造
  • 太阳能电池的制造
  • 玻璃和卷材(卷对卷)镀膜
  • 一般真空镀膜和应用

规格

UL3000 Fab
UL3000 FabUL3000 Fab ULTRA
粗加工泵的最大泵送速度m³/h>30
氦气抽吸速度(高敏感模式ULTRA)。L/s4
尺寸(长x宽x高)mm
in.
1050x472x987
42x21x34
附加功能具有最高抽气速度的罗茨干泵,HYDRO-S,用于SL3000的独立吸气管口,真空软管支架
粗加工泵的最大泵送速度m³/h>36
氦气抽吸速度(高敏感模式ULTRA)。L/s4
尺寸(长x宽x高)mm
in.
1050x472x987
42x21x34
附加功能具有最高抽气速度的罗茨干泵,HYDRO-S,用于SL3000的独立吸气管口,真空软管支架
零件编号
附件
易耗品
550-260UL3000 Fab ULTRA
550-200UL3000 Fab
零件编号描述
551-010Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203Bracket for SL3000
551-210SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201Helium Bottle Holder
560-310I/O 1000 module
560-315BM1000 PROFIBUS module
560-316BM1000 PROFINET IO module
560-317BM1000 DeviceNet module
560-318BM1000 Ethernet/IP module
560-334Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332Data Cable 2 m
560-335Data Cable 5 m
560-340Data Cable 10 m
551-005TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-205extension cable for TC1000/SL200, UL3000
零件编号描述
200007656Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation

下载

手册
UL3000 Fab ULTRA-操作手冊 Operating Instructions (zh-tw)
pdf 4,8 MB 中文 操作手册
UL3000 Fab 操作手冊 Operating Instructions (zh-tw)
pdf 3,6 MB 中文 操作手册
UL3000 Fab 操作说明书 Operating instructions
pdf 3,7 MB 中文 操作手册
TC1000 Operating Manual
pdf 353,8 KB 英文 操作手册
UL3000-Fab-ULTRA-Manual-de-instrucciones
pdf 4,7 MB 西班牙语 操作手册
BM1000 Operating manual
pdf 640,6 KB 西班牙语 操作手册
IO1000 Manual de instrucciones
pdf 1,3 MB 西班牙语 操作手册
UL3000 Fab 操作説明
pdf 3,7 MB 日语 操作手册
UL3000-Fab-ULTRA-사용 설명서
pdf 4,7 MB 韩语 操作手册
UL3000 Fab Betriebsanleitung
pdf 3,5 MB 德语 操作手册
UL3000 Fab ULTRA Betriebsanleitung
pdf 4,7 MB 德语 操作手册
RC1000 Betriebsanleitung
pdf 2,1 MB 德语 操作手册
BM1000 Operating manual
pdf 1.004,7 KB 德语 操作手册
IO1000 Betriebsanleitung
pdf 1,3 MB 德语 操作手册
Halterung SL3000
pdf 328,7 KB 德语 操作手册
TC1000 Betriebsanleitung
pdf 340,5 KB 德语 操作手册
UL3000 Fab Operating instructions
pdf 3,5 MB 英文 操作手册
UL3000 Fab ULTRA Operating instructions
pdf 4,7 MB 英文 操作手册
RC1000 Operating instructions
pdf 2,1 MB 英文 操作手册
RC1000 Notice d'utilisation
pdf 2,1 MB 法语 操作手册
BM1000 Operating manual
pdf 734,7 KB 英文 操作手册
IO1000 Operating manual
pdf 1,3 MB 英文 操作手册
UL3000 Fab ULTRA инструкция по эксплуатации
pdf 5,2 MB 俄语 操作手册
BM1000 Operating manual
pdf 824,6 KB 中文 操作手册
IO1000 操作说明书
pdf 1,4 MB 中文 操作手册
SL3000 bracket
pdf 148,3 KB 英文 操作手册
UL3000-Fab-ULTRA-操作说明书
pdf 4,9 MB 中文 操作手册