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Sion™
无创卡箍式射频检测仪可在 iPVD、PECVD 和蚀刻应用中实现高速电弧检测
Sion™
便于改装到现有工具箱中
非侵入式传感器安装
高速数据采集 (250 kHz)
与 FabGuard 相集成的数据管理
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射频传感技术
ADC100
ADC100 系统连接至 DC 发电机,以实时检测等离子体电弧。 这样就能中断晶圆过程,并将潜在硬件或产品损坏通知工程师。
ADC100
FabGuard 传感器集成和分析系统可将软件集成到工具
每个通道 250 kHz 的数据采集频率
将定制电缆连接到大部分 DC 发电机
使用预定义分析工具快速检测电弧
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