1. TRANSPECTOR® CPM 3 컴팩트 프로세스 모니터
질량분석기

TRANSPECTOR® CPM 3 컴팩트 프로세스 모니터

신속하게 즉시 사용할 수 있는 공정 모니터링 시스템

Transpector-CPM

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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성능, 신뢰성 및 융통성

INFICON Transpector CPM은 10년 이상 반도체 산업에서 시장을 주도하는 잔류 가스 분석기(RGA) 공정 모니터링 시스템입니다. 이제 Transpector CPM 3은 새로운 센서 및 전자장치와 통합된 현장 검증된 펌핑 및 흡입 시스템을 통해 업계 최고의 측정 속도와 민감도를 제공합니다. Transpector CPM 3은 ALD, CVD, PVD 및 에칭과 같은 새롭게 설정된 반도체 공정을 위한 이상적인 RGA 공정 모니터입니다.

Transpector CPM 3은 다음을 통해 파트너에게 입증된 투자 수익을 제공합니다.

  • 업계 선두적인 측정 기술
  • 안정적인 적응식 아키텍처
  • 유지관리의 편의성
  • 우수한 제품 지원

특징

  • ALD, 에칭, CVD 및 300 mm 가스 제거용 잔류 가스 분석기는 실시간 공정 모니터링 및 분석을 지원합니다.
  • 포인트당 1.8 ms(초당 555 포인트)로 ALD가 지원되는 측정 속도
  • 가장 까다로운 CVD 및 에칭 분야에서 현장 입증된 내구성과 신뢰성
  • 적용개소 통합—Transpector CPM은 FabGuard 소프트웨어와 통합되고 INFICON의 세계적인 적용개소 전문가들이 지원할 때 강력한 공정 모니터링 및 진단 도구가 됩니다.
  • 소형 크기—생산 반도체 장비에 쉽게 통합될 수 있습니다.
  • 최대 3개의 압력 흡입구와 표면적 감소로 표면 반응 및 반응 시간을 최소화하는 Hexblock™
  • 용량식 격막 게이지(CDG)—사용자는 CDG를 사용하여 압력 압력을 모니터링하고 압력 변위로부터 시스템을 자동으로 보호할 수 있습니다.
  • 자동 보정—센서 간 및 도구 간 챔버 매칭을 위한 장기간 데이터 안정성과 정확성을 보장합니다.

사양서

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
총 압력 범위5E-7 - 1E-3 Torr
검출 한도< 1 ppm
시스템 작동 압력1E-8 Torr - 1.2 atm
민감도(저배출)> 4E-6 Amps/Torr
민감도(고배출)> 2E-5 Amps/Torr
총 압력 범위5E-7 - 1E-3 Torr
검출 한도< 2 ppm
시스템 작동 압력1E-8 Torr - 1.2 atm
민감도(저배출)> 2E-6 Amps/Torr
민감도(고배출)> 1E-5 Amps/Torr
총 압력 범위5E-7 - 1E-3 Torr
검출 한도< 4 ppm
시스템 작동 압력1E-8 Torr - 1.2 atm
민감도(저배출)> 1E-6 Amps/Torr
민감도(고배출)> 5E-6 Amps/Torr
전체 사양 다운로드

소모품

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
Part NumberDescription
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
Part NumberDescription
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
300 AMU CPM
Part NumberDescription
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

Spare Parts

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
Part NumberDescription
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
Part NumberDescription
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
Part NumberDescription
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
제품은 다음 마켓에서 사용됩니다
Analytical-Instrumentation-Navi
分析仪器

분석 기기 시장은 광범위한 어플리케이션 및 시장 분야에서 고도로 정교한 장비 사용자를 지원합니다. 인피콘은 기체, 액체 또는 고체일 수 있는 가장 작은 구조 또는 요소 구성을 분석하고 식별하는 데 도움이 되는 최첨단 기술 제조업체와 협력합니다. 

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Battery-Market-Navi
배터리

전극 생산에서 최종 라인 테스트까지 

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Display-Navi
디스플레이

INFICON은 첨단 기술을 지원하고 최고 품질의 디스플레이 제품을 가능하게 합니다 

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energy-market-navi
에너지

전통적인 석유 및 가스 생산은 지난 수십 년 동안 수요가 증가했으며 개발 도상국의 인구 증가, 도시화 및 소비자 중산층에 의해 추진되고 있습니다.

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
산업 제조

진공은 깨끗한 환경을 보장하기 위해 더 자주 사용되며 여러 공정에 필요하며 진공 없이는 작동하지 않습니다.

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Mobility_and_Automotive-Navi
모빌리티 및 자동차

진화하는 산업에서 신뢰할 수 있는 누출 테스트. 자동차 산업의 변화로 인해 누설 검사가 더욱 중요해지고 있습니다.

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Pharma_and_Medical-Navi
제약 및 의료

생산성 향상 및 제약 분야의 규정 준수 표준 및 품질 요구 사항 충족 지원 

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Research-and-Academia-Navi
연구 및 학계

기초 연구를 통해 우주의 가장 깊은 비밀을 밝히다. 내일의 기술을 강화하는 혁신을 오늘 제공합니다. 

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
반도체 IDM 및 파운드리

Sensors tailored to support a wide range of applications, ensuring product safety, increased yield and maximum productivity

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Vacuum_Coating-Navi
진공 코팅

진공 코팅 시장은 광학 분야를 넘어 불과 10년 전만 해도 거의 상상할 수 없었던 영역, 산업 및 필름 레이어로 빠르게 확장되고 있습니다.

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