질량분석기

QMG 700

우수한 안정성과 정밀 해상도로 검출 한도 초과

반도체 제조 기술의 급속한 발전은 신속하고 신뢰할 수 있는 가스 분석 솔루션에 의존하고 있습니다. 팹 또는 랩에서 INFICON QMG 700 Analytical Mass Spectrometer를 선택하여 탐지 장벽을 극복하고 공정을 차세대 기술 혁신으로 추진하십시오. QMG 700은 모듈식 설계에서 비교할 수 없는 성능과 적응성을 제공합니다. QMG 700으로 경쟁적 우위를 향상시키고, 뛰어난 수준의 측정 역량을 얻으십시오.

광범위한 이온 소스, 질량 필터 및 RF 전원 공급장치 옵션에서 선택하여 QMG 700을 특정 적용개소에 맞추십시오. QMG 700은 9 디케이드 이상의 동적 범위 및 ppb 탐지 한계를 자랑하며, 초고진공 측정에 이상적인 기기라고 할 수 있습니다. QMG 700은 전체 질량 범위에서 장치 해상도를 제공하며, 낮은 질량에 비해 훨씬 더 높은 해상도를 제공합니다. 기기는 헬륨 및 듀테륨 분리와 같은 동위원소 분석을 포함하여 가장 까다로운 측정을 위한 최상의 옵션입니다. QMG 700으로 공정을 제어하고 이것의 우수한 장기간 안정성에 의존하여 중대한 측정을 보호하십시오.

INFICON에서 40년 넘게 제공해온 뛰어난 분석 질량 분광 측정 기술이 탑재된 QMG 700은 차세대 가스 분석 투자에서 올바른 선택입니다. 일관된 정확성과 정밀한 결과를 얻기 위해 INFICON QMG 700과 INFICON의 세계적인 적용개소 전문성을 믿으셔도 됩니다.

특징

1-512 amu의 질량 범위 옵션
90년 이상의 다이내믹 레인지
매우 빠른 측정 속도: 0.125ms/amu
MDPP < 10E-16mbar
전체 질량 범위에 걸친 고분해능: ppb 범위에서 명확하게 분리 가능한 질량 1, 2 및 3
다양한 이온 소스 옵션
불연속 또는 연속 다이노드 전자 증배기 옵션
IO 옵션: 8개의 아날로그 입력/출력 및 32개의 디지털 입력/출력
유연하고 사용자 친화적인 인터페이스를 갖춘 강력한 소프트웨어

일반적인 응용 분야

가스 방출 질량 분광 측정
엔드포인트 검출
증착 재료 모니터링
보조 이온 질량 분광 측정

사양서

QMA 400

QMA 410

QMA 430

질량 범위	1-512 amu (1)

센서 길이	441.5 mm

로드 직경	8 mm

로드 재료	Molybdenum

플랜지	DN 63 CF-F

검출기 유형	Faraday/SEV 217

최대 작동 압력(FC)	1 E-4 mbar

최대 작동 압력(EM)	1 E-5 mbar

민감도	5 E-4 A/mbar

최소 검출 가능 부분 압력	1 E-15 mbar

해상도(조절 가능)	0.3 - 7 amu

부분 압력비	< 0.5 ppb

최대 작동 온도 센서	150 °C

최대 베이크아웃 온도	400 °C

최대 작동 온도 전자장치	40 °C

측정 속도	0.125 ms - 60 s/amu

전력 공급 장치	100 - 240 VAC
(1) QMA 400은 1-512 amu 질량 범위에 사용할 수 있습니다. 512 amu 질량 범위에 기반한 QMA 400 사양, 교차 빔 이온 소스 시스템 구성.
(2) QMA 410은 1-128 amu 질량 범위에 사용할 수 있습니다. 128 amu 질량 범위에 기반한 QMA 410 사양, 교차 빔 이온 소스 시스템 구성.

질량 범위	1-340 amu (2)

센서 길이	548 mm

로드 직경	16 mm

로드 재료	Molybdenum

플랜지	DN 100 CF-F

검출기 유형	Faraday/SEV 217

최대 작동 압력(FC)	1 E-4 mbar

최대 작동 압력(EM)	1 E-5 mbar

민감도	1 E -3 A/mbar

최소 검출 가능 부분 압력	5 E-16 mbar

해상도(조절 가능)	0.2 - 2.2 amu

부분 압력비	< 0.5 ppb

최대 작동 온도 센서	150 °C

최대 베이크아웃 온도	400 °C

최대 작동 온도 전자장치	40 °C

측정 속도	0.125 ms - 60 s/amu

전력 공급 장치	100 - 240 VAC
(1) QMA 400은 1-512 amu 질량 범위에 사용할 수 있습니다. 512 amu 질량 범위에 기반한 QMA 400 사양, 교차 빔 이온 소스 시스템 구성.
(2) QMA 410은 1-128 amu 질량 범위에 사용할 수 있습니다. 128 amu 질량 범위에 기반한 QMA 410 사양, 교차 빔 이온 소스 시스템 구성.

질량 범위	1-300 amu

센서 길이	441.5 mm

로드 직경	8 mm

로드 재료	Stainless Steel

플랜지	DN 63 CF-F

검출기 유형	Faraday/SEV 217

최대 작동 압력(FC)	1 E-4 mbar

최대 작동 압력(EM)	1 E-5 mbar

민감도	2 E-4 A/mbar

최소 검출 가능 부분 압력	1 E-15 mbar

해상도(조절 가능)	0.3 - 7 amu

부분 압력비	< 0.5 ppb

최대 작동 온도 센서	150 °C

최대 베이크아웃 온도	400 °C

최대 작동 온도 전자장치	40 °C

측정 속도	0.125 ms - 60 s/amu

전력 공급 장치	100 - 240 VAC
(1) QMA 400은 1-512 amu 질량 범위에 사용할 수 있습니다. 512 amu 질량 범위에 기반한 QMA 400 사양, 교차 빔 이온 소스 시스템 구성.
(2) QMA 410은 1-128 amu 질량 범위에 사용할 수 있습니다. 128 amu 질량 범위에 기반한 QMA 410 사양, 교차 빔 이온 소스 시스템 구성.

파트 넘버

QMA 400

QMA 410

QMA 430

490-715	QMA 400 with Grid Ion Source
450-119	Deckplatte kpl. DMM spez.
490-601	QMA 400 for PPM 422 standard
490-700	QMA 400 with Axial Ion Source
490-701	QMA 400 with Crossbeam
490-702	QMA 400, SEM 217, Crossbeam, Yt

490-810	QMA 410 with Axial Ion Source
490-812	QMA 410,16mm Mo,217, W, CB-GT
490-817	QMA 410, SEM 217, crossbeam, Yt
490-821	QMA 410 Quadrup.-Analysator
490-830	QMA 410 mit CB-IQ mit Magn.,SEV218

490-901	QMA 430 mit CB-IQ, Faraday
490-910	QMA 430 with Axial-IQ, 90° SEV217
490-913	QMA 430 with Grid Ion Source
490-914	QMA 430 grid Ion Source, vac.-annealed
490-916	QMA 430, CB-IQ without SEV217
490-917	QMA 430 with CB Ion source, Gas Tight
490-918	QMA 430, CB Ion Source without SEV217
490-943	QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT